循環(huán)風(fēng)控溫裝置在半導(dǎo)體設(shè)備高低溫測(cè)試中能夠?yàn)橛脩籼峁┮粋€(gè)受控、恒溫均勻的溫控環(huán)境，同時(shí)具備直接加熱、制冷、輔助加熱、輔助制冷的功能，實(shí)現(xiàn)全量程范圍內(nèi)的溫度準(zhǔn)確控制。
一、循環(huán)風(fēng)控溫裝置技術(shù)參數(shù)
在半導(dǎo)體高低溫測(cè)試中，循環(huán)風(fēng)控溫裝置通過準(zhǔn)確的溫度循環(huán)和沖擊測(cè)試，驗(yàn)證設(shè)備在嚴(yán)苛環(huán)境下的可靠性。主流設(shè)備與技術(shù)參數(shù)如下：
AI系列循環(huán)風(fēng)裝置：溫度范圍：-105℃~+125℃；精度：±0.5℃；模塊化設(shè)計(jì)，支持備用機(jī)組熱切換，自動(dòng)化霜、獨(dú)立循環(huán)風(fēng)道，適用于多場(chǎng)景快速構(gòu)建高低溫環(huán)境
高低溫沖擊測(cè)試機(jī)（AES系列）：溫度范圍：-115℃~+225℃；精度：±0.5℃；射流式氣流設(shè)計(jì)，模擬嚴(yán)苛溫度沖擊，評(píng)估材料熱脹冷縮應(yīng)力及電性能穩(wěn)定性
快速溫變控溫卡盤（MD系列）：溫度范圍：-75℃~+225℃，提供開放測(cè)試平臺(tái)，支持RF器件及功率模塊在快速溫變下的失效分析
二、循環(huán)風(fēng)控溫裝置測(cè)試場(chǎng)景
1、技術(shù)優(yōu)勢(shì)：
模塊化擴(kuò)展：AI系列設(shè)備支持積木式拼接，可快速構(gòu)建-65℃~+125℃恒溫箱或高低溫沖擊室，減少部署周期。
自適應(yīng)PID控制：結(jié)合傳感器實(shí)時(shí)反饋，溫度波動(dòng)控制在±0.,5℃以內(nèi)，滿足半導(dǎo)體封裝工藝對(duì)溫度均勻性的嚴(yán)苛要求。
多介質(zhì)兼容性：支持氮?dú)狻鍤獾榷栊詺怏w環(huán)境測(cè)試，避免樣品氧化，適用于光電子器件敏感性測(cè)試。
2、典型測(cè)試場(chǎng)景：
芯片可靠性驗(yàn)證：通過-40℃~120℃快速溫變循環(huán)（速率>5℃/min），檢測(cè)焊點(diǎn)開裂、封裝材料分層等失效模式。
材料特性分析：在-80℃~+200℃范圍內(nèi)，評(píng)估陶瓷基板、導(dǎo)熱膠等材料熱膨脹系數(shù)匹配性，優(yōu)化散熱設(shè)計(jì)。
工藝參數(shù)調(diào)優(yōu)：模擬晶圓測(cè)試環(huán)節(jié)的溫度波動(dòng)，驗(yàn)證探針卡接觸穩(wěn)定性及測(cè)試機(jī)抗干擾能力。
三、循環(huán)風(fēng)控溫裝置實(shí)際應(yīng)用案例
案例1：在IGBT模塊測(cè)試中的應(yīng)用
測(cè)試需求：驗(yàn)證IGBT模塊在-40℃~100℃環(huán)境下的循環(huán)壽命。
實(shí)施方案：采用AI系列構(gòu)建雙溫區(qū)循環(huán)箱，通過自適應(yīng)PID控制實(shí)現(xiàn)溫變速率，循環(huán)次數(shù)>10萬次。
案例2：在射頻芯片熱沖擊測(cè)試中的應(yīng)用
測(cè)試需求：評(píng)估芯片在-80℃~100℃沖擊下的電性能穩(wěn)定性。
實(shí)施方案：利用射流式氣流設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間<5秒，配合振動(dòng)臺(tái)模擬真實(shí)工況。
四、循環(huán)風(fēng)控溫裝置選型策略
溫度均勻性：半導(dǎo)體晶圓測(cè)試要求空間溫差<±1℃，需選擇具有多區(qū)域獨(dú)立控溫功能的設(shè)備。
介質(zhì)兼容性：需支持隔離防爆環(huán)境下的測(cè)試。
數(shù)據(jù)追溯：優(yōu)先選擇具備溫度曲線記錄（U盤導(dǎo)出EXCEL）及遠(yuǎn)程監(jiān)控功能的設(shè)備。
