半導(dǎo)體Chiller支持工藝過(guò)程制程發(fā)展 返回列表頁(yè)

半導(dǎo)體Chiller支持工藝過(guò)程制程發(fā)展

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日常維護(hù)是確保系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行的基礎(chǔ)。需要每日檢查各分區(qū)溫度設(shè)定值與實(shí)際值的偏差，記錄系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)。關(guān)注壓縮機(jī)、水泵等關(guān)鍵設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常運(yùn)行聲音或振動(dòng)。

月度、季度維護(hù)應(yīng)檢查水處理系統(tǒng)，包括水質(zhì)檢測(cè)、過(guò)濾器清洗、電氣系統(tǒng)絕緣測(cè)試、傳感器校準(zhǔn)、管路密封性檢查等。檢查各分區(qū)調(diào)節(jié)閥的動(dòng)作情況，確保響應(yīng)靈敏度和控制精度。清理冷凝器翅片，檢查冷媒壓力，確保換熱效率。

三、常見(jiàn)故障排查方法

溫度控制偏差是常見(jiàn)的故障現(xiàn)象。首先檢查溫度傳感器的校準(zhǔn)情況，然后排查調(diào)節(jié)閥的動(dòng)作是否正常。如果單個(gè)分區(qū)出現(xiàn)偏差，檢查該分區(qū)的傳感器和調(diào)節(jié)閥；如果多個(gè)分區(qū)同時(shí)出現(xiàn)偏差，則需要檢查主機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)。

系統(tǒng)壓力異常是另一個(gè)常見(jiàn)故障。高壓警告通常由冷凝器散熱不佳引起，需要檢查冷凝器風(fēng)扇和翅片清潔度。低壓警告則可能是冷媒泄漏或蒸發(fā)器堵塞所致，需要進(jìn)行檢查。

壓縮機(jī)故障往往表現(xiàn)為異常運(yùn)行聲音或無(wú)法啟動(dòng)。首先檢查電源和啟動(dòng)器，然后檢測(cè)壓縮機(jī)繞組絕緣和運(yùn)行電流。如果壓縮機(jī)頻繁啟停，可能是系統(tǒng)負(fù)荷不平衡或冷媒量不當(dāng)所致。

存儲(chǔ)單元分區(qū)溫控Chiller系統(tǒng)的維護(hù)和故障排查需要知識(shí)和技能。通過(guò)建立完善的維護(hù)體系，采用科學(xué)的排查方法，可以提高系統(tǒng)的可靠和穩(wěn)定。