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當前位置：深圳市矢量科學儀器有限公司>>其他前道工藝設備>>8 氧化設備、退火設備>> VERIC A6151A碳化硅高溫氧化爐
| 參 考 價: | 面議 |
產(chǎn)品型號VERIC A6151A
品牌北方華創(chuàng)
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地北京市
更新時間：2024-09-05 17:32:05瀏覽次數(shù)：445次
聯(lián)系我時，請告知來自 化工儀器網(wǎng)1. 產(chǎn)品概述
VERIC A6151A 碳化硅高溫退火爐,適用于碳化硅高溫激活 & 退火的設備。
2. 設備用途/原理
VERIC A6151A 碳化硅高溫退火爐，適用于碳化硅高溫激活 & 退火的設備，高溫度 2000℃，升溫速率可達 100℃/min。石墨電阻加熱，工藝腔室潔凈。自動裝片，Cassette to Cassette。SEMI S2/S6 認證。
3. 設備特點
晶圓尺寸 4/6 英寸兼容，適用材料 碳化硅、氮化鋁，適用工藝 注入后激活、Ar 退火、Ar/H2 退火、溝槽平滑，適用域 科研、化合物半導體。百科：退火爐的原理?主要涉及通過控制加熱和冷卻過程中的溫度和時間，以改變半導體材料的性質(zhì)或結(jié)構，從而實現(xiàn)對材料的精確控制和優(yōu)化處理。這種設備通常被稱為RTP（Rapid Thermal Processing）快速退火爐。RTP退火爐的關鍵特點包括快速升溫、保持溫度、冷卻階段以及氣體控制。
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