1. 產(chǎn)品概述:
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用的測量方式,實現(xiàn)了高速測量和機體的小型化。
我們的產(chǎn)品陣容包括便攜式,自動式和對應(yīng)真空環(huán)境的設(shè)備內(nèi)置式類型。
2. 特點
高速測定
快照方法可實現(xiàn)高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜:
波長范圍可選標準類型(530nm至750nm)和可見光譜類型(380nm至760nm)。
緊湊型傳感器單元:
光發(fā)射和接收的傳感器僅由沒有旋轉(zhuǎn)機構(gòu)的光學部件組成,因此非常輕且緊湊,并且不需要定期維護。
豐富的產(chǎn)品陣容:
產(chǎn)品陣容應(yīng)用廣泛,包括如便攜類型,手動/自動平臺類型,大型基板類型,以及支持大氣/真空環(huán)境的內(nèi)置類型。
3. 用途
透明或半透明薄膜(氧化膜,氮化膜,抗蝕劑,ITO等)的膜厚,折射率,消光系數(shù)的測量