FETS-2000是一款擴(kuò)展靈活的高低溫鐵電材料綜合測(cè)試系統(tǒng)，也是一款可替代德國(guó)aixACCT公司生產(chǎn)的TF Analyzer 2000鐵電分析儀的國(guó)產(chǎn)鐵電材料性能測(cè)試設(shè)備，可廣泛地應(yīng)用于如各種鐵電/壓電/熱釋電薄膜、厚膜、體材料和電子陶瓷、鐵電傳感器/執(zhí)行器/存儲(chǔ)器等領(lǐng)域的研究。

   鐵電參數(shù)測(cè)試主要性能指標(biāo)：

   a. 外接5 kV高壓放大器（可擴(kuò)展至10 kV）（國(guó)產(chǎn)、進(jìn)口均適用）；

   b. 動(dòng)態(tài)電滯回線測(cè)試頻率范圍0.01 Hz ～ 5 kHz；

   c. 最大電荷解析度：10 mC（可擴(kuò)展）

   d. 疲勞測(cè)試頻率300 kHz（振幅10 Vpp，負(fù)載電容1 nF）；

   e. 漏電流測(cè)量范圍 1 pA ～ 20 mA（可擴(kuò)展），分辨率0.1 pA；

   f. 配有高壓擊穿保護(hù)模塊。

   g.溫度范圍：-160℃～260℃

   本測(cè)試系統(tǒng)由主控器、高壓放大器、變溫綜合測(cè)試平臺(tái)（配鐵電測(cè)試盒）或高低溫探針臺(tái)（配高壓探針）、計(jì)算機(jī)及系統(tǒng)軟件部分組成。主控器集成了可編程波形發(fā)生器、內(nèi)置驅(qū)動(dòng)電壓、電荷積分器、可編程放大器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器、通訊總線等功能，主控器提供擴(kuò)展外置高壓放大器接口，可擴(kuò)展±5 kV或±10 kV的高壓放大器。系統(tǒng)軟件包括可視化數(shù)據(jù)采集和管理功能，測(cè)試時(shí)，無需改變測(cè)試樣品的連接，即可實(shí)現(xiàn)滯回，脈沖，漏電，IV等性能測(cè)試。

   本測(cè)試系統(tǒng)鐵電性能測(cè)試采用基于虛地模式的測(cè)量方法，與傳統(tǒng)的Sawyer- Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測(cè)試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對(duì)測(cè)試的影響環(huán)節(jié)，容易定標(biāo)和校準(zhǔn)，并且能實(shí)現(xiàn)較高的測(cè)量準(zhǔn)確度。

   高低溫鐵電材料綜合測(cè)試系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，不同的模塊對(duì)應(yīng)不同的電特性測(cè)量。

   標(biāo)配版鐵電模塊測(cè)試功能：

       動(dòng)態(tài)電滯回線DHM

       靜態(tài)電滯回線SHM

       I-V特性

       脈沖PUND    

       疲勞Fatigue

       變溫測(cè)試THM

   增強(qiáng)版鐵電模塊測(cè)試功能：

   動(dòng)態(tài)電滯回線DHM

   靜態(tài)電滯回線SHM

   I-V特性

   脈沖PUND

   疲勞Fatigue

   電擊穿強(qiáng)度BDM    

   漏電流LM

   電流-偏壓

   保持力RM

   印跡印痕IM

   變溫測(cè)試THM

   可選的模塊：

   POM 模塊實(shí)現(xiàn)極化測(cè)量功能

   CVM模塊實(shí)現(xiàn)小信號(hào)電容測(cè)試，獲得C-V曲線

   PZM模塊實(shí)現(xiàn)壓電特性測(cè)試

   DPM模塊測(cè)試介電性能

   RTM模塊測(cè)試電阻/電阻率性能

   CCDM模塊實(shí)現(xiàn)電容充放電測(cè)試