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應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,電氣 |
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PRECESS普瑞賽思高真空閘閥(V21系列)
SPGV系列及其前身SPGV已經(jīng)在各種工藝條件下安裝在數(shù)百種要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其出色的可靠性。它們已成為DN 63-320 mm尺寸的任何高壓隔離要求的標(biāo)準。
SPGV系列憑借其堅固的設(shè)計,滿足了可靠運行的高壓閘閥的所有要求。SPGV的設(shè)計可在大量工藝循環(huán)中可靠運行,為通用高壓閘閥設(shè)定了標(biāo)準。
該系列提供各種驅(qū)動和法蘭連接設(shè)計選項,因此可以輕松集成到任何高壓系統(tǒng)中。各種特殊選項,如窗口和端口,可確保與應(yīng)用程序的最佳匹配。
SPGV高壓閘閥有手動、氣動和3位氣動版本。該閥可以由電磁閥控制,可以“在船上"控制,也可以根據(jù)需要在遠處控制。電磁閥的標(biāo)準電壓為24V DC,但可根據(jù)要求提供其他電壓。閥門位置由一個雙位指示器指示——兩個開關(guān)分別用于“打開"和“關(guān)閉"位置——帶轉(zhuǎn)換觸點。
法蘭連接器的標(biāo)準選項是ISO-F、CF-F、ASA-L和JIS??梢约煽蛻舳ㄖ频膸Ш筒粠涞姆ㄌm。
閘門密封可以是O型圈密封,也可以是DN 200 mm以下的硫化密封。硫化密封是推薦的解決方案,因為它在真空性能和可靠性方面具有很好的性能。
特征:
l良好的波紋管密封閥
l無沖擊,振動最小
l不銹鋼材質(zhì)閥體,耐腐蝕
l機械鎖處于關(guān)閉位置
優(yōu)點:
lDN63-630,帶FKM O型圈閘門密封
l氣動的
l手動和3位執(zhí)行器
l提供ISO-F,CF-F,ASA-LP,JIS法蘭
應(yīng)用:
l半導(dǎo)體、太陽能、一般真空處理
lPVD、CVD、濺射沉積
PRECESS普瑞賽思高真空閘閥(V21系列)
技術(shù)參數(shù)
尺寸 | DN63 to DN320 | |
執(zhí)行器 | 氣動 | 雙作用位置指示器 |
Manual | 帶曲柄手柄 | |
閥體材質(zhì) | 不銹鋼 | |
進料 | 波紋管 | |
標(biāo)準法蘭 | ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS | |
泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-9 mbar l/s |
閥座 | < 1 × 10-9 mbar l/s | |
壓力范圍 | 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs) | |
壓差 | In close direction | ≤ 1.2bar |
At opening | < 30mbar | |
循環(huán)至first使用 | ≥200,000 | |
溫度 | 閥體 | ≤ 120 °C |
閥門 | ≤ 120 °C | |
材質(zhì) | 閥體、板 | AlSI 304 (1.4301) |
軸 | AlSI 304 (1.4301) | |
波紋管 | AISI 633(AM350) | |
密封 | 閥帽 | FKM(Viton®)或根據(jù)要求 |
閥門 | FKM(Viton®)或根據(jù)要求 | |
安裝位置 | 任意 | |
電磁閥 | 24 VDC,2.5 W(其他應(yīng)要求) | |
位置指示器:觸點額定 | 電壓 | ≤50 VDC |
電流 | 0-80 mA | |
功率 | ≤ 10 W | |
連接器 | D-Sub 9P Male | |
壓縮空氣連接 | 快速連接器O.D. 4 mm |
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