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參考價(jià): | ¥ 6985 |
訂貨量: | 1件 |
- ESA200W 產(chǎn)品型號(hào)
- EBARA/荏原 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問(wèn)次數(shù):21更新時(shí)間:2025-04-24 19:54:09
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泵軸位置 | 臥式 | 輸送介質(zhì) | 其他 |
---|---|---|---|
葉輪數(shù)目 | 其他 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
池田屋實(shí)業(yè)優(yōu)勢(shì)供應(yīng) ,并提供報(bào)價(jià)圖片
優(yōu)勢(shì)?。BARA荏原 干式真空泵 ESA型 ESA200W
優(yōu)勢(shì)??!EBARA荏原 干式真空泵 ESA型 ESA200W
ESA類型
可排出氫氣等輕質(zhì)氣體并對(duì)大型腔室進(jìn)行高速排氣的干式真空泵
大型真空室,高速排氣
有機(jī)溶劑兼容選項(xiàng)
氫氣和其他輕氣體的尾氣
耐腐蝕材料選項(xiàng)
無(wú)油
CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL 兼容
非常適合研究機(jī)構(gòu)
吸附特定化學(xué)物質(zhì)
產(chǎn)品介紹
ESA型備有適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣的排氣量1,400L/min~10,000L/min的型號(hào),以及適合大型腔室高速排氣的排氣量20,000L/min~80,000L/min的型號(hào)。容量為 10,000 L/min 或更低的型號(hào)適用于輕質(zhì)氣體排放,并具有緊湊的設(shè)計(jì)和耐腐蝕材料選項(xiàng)。它們是 MO-CVD 等高流量輕氣體排氣應(yīng)用的理想選擇。大型機(jī)型雖然排氣量大,但運(yùn)行安靜、振動(dòng)低,并且還提供有機(jī)溶劑排氣選件,非常適合用于液晶濺射設(shè)備、真空干燥工藝、大型負(fù)載鎖等。
規(guī)格
模型 | 單元 | ESA15-D | ESA25-D | ESA25XW | ESA70W(-D) | ESA70WN(-D) | ESA80W-HDF | ESA80WN-HDF | ESA100W | ESA100WN | ESA200W | ESA300W | ESA500W | ESA700W | |
抽速 | 升/分鐘 | 1,400(50赫茲) | 2,500(50赫茲) | 5,000(50赫茲) | 7,000(50赫茲) | 7,000(50赫茲) | 8,400(50赫茲/60赫茲) | 8,400(50赫茲/60赫茲) | 10,000(50赫茲/60赫茲) | 10,000(50赫茲/60赫茲) | 20,000(50赫茲/60赫茲) | 28,000(50赫茲) | 47,000(50赫茲) | 80,000(50赫茲/60赫茲) | |
1,700(60赫茲) | 3,000(60赫茲) | 6,000(60赫茲) | 8,400(60赫茲) | 8,400(60赫茲) | 30,000(60赫茲) | 50,000(60赫茲) | |||||||||
極限壓力 | 爸爸 | 400(50赫茲) | 5.3(50赫茲) | 5.3(50赫茲) | 0.27(50赫茲) | 0.4(50赫茲) | 0.13 | 0.27 | 0.13 | 0.27 | 0.53 | 0.53 | 0.53 | 0.5 | |
270(60赫茲) | 4.0(60赫茲) | 4.0(60赫茲) | 0.13(60赫茲) | 0.27(60赫茲) | |||||||||||
連接尺寸 | 進(jìn)氣口 | NW40 | NW50 | ISO80 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW50 | NW80 | ISO100 | ISO160 | ISO160 | |
排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | NW50 | ||
極限壓力下的近似功率值 | 千瓦 | 2.9(50赫茲) | 2.6(50赫茲) | 5.2(50赫茲) | 3.6(50赫茲) | 3.6(50赫茲) | 4.2 | 4.2 | 4.9 | 4.9 | 3.2(50赫茲) | 6.6(50赫茲) | 5.1(50赫茲) | 7.4 | |
3.2(60赫茲) | 2.9(60赫茲) | 5.8(60赫茲) | 4.0(60赫茲) | 4.0(60赫茲) | 3.4(60赫茲) | 7.3(60赫茲) | 6.7(60赫茲) | ||||||||
冷卻水 | 流動(dòng) | 升/分鐘 | 3.5~8 | 3.5~8 | 7~16 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 6~9 | 6~9 | 6~9 |
溫度 | ℃ | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | 最大限度。三十 | |
氮?dú)?/span> | 流動(dòng) | 帕•立方米/秒 | 14~17(4.6) | 17~20(3.8) | 34~40 | 24~27(4.7) | 24~27(4.7) | 54~57 | 54~57 | 54~57 | 54~45 | 17~20(3.8) | 7.5~10.5 | 8.5~11 | 8.5~11 |
電源相位/電壓/頻率 | 200V型號(hào) | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | 三相/200V/50Hz | |
400V型號(hào) | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | 三相/380-400V/50Hz | - | ||
460V型號(hào) | 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | 三相/440V/50Hz | ||||||||||||
供電容量 | 千伏安 | 6.4 | 6.4 | 12.8 | 10.3 | 10.3 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12.6 | 12 | 23.7 | 41.3 | 46.5 | |
近似質(zhì)量 | 公斤 | 240 | 240 | 480 | 380 | 380 | 400 | 400 | 400 | 400 | 410 | 700 | 750 | 1200 |