IR檢測排片設備用于手機濾光片上下表面及測面檢測，設備采用轉盤式高速物料流轉方案。設備包含Wafer并行高速上下料，Wafer 掃碼、Wafer 擴模、頂針頂片、多吸嘴取片、濾光片兩面缺陷檢測、高精度排片、NG片回收等功能。設備上表面及下表面?zhèn)让鏅z測工位，通過高分辨率光學系統(tǒng)，對濾光片崩點、臟污、劃傷、絲印進行等進行高精度測量檢測。特別針對濾光片凹坑檢測這個業(yè)界難點，該設備集成了我司最新研制的凹坑檢測專用光學系統(tǒng)實現(xiàn)了凹坑缺陷的高準確率識別。另外，設備具備缺陷分類、SPC統(tǒng)計、MES數據上拋等信息化功能。該設備為行業(yè)某頭部公司定制開發(fā)，為業(yè)內具備濾光片上下表面缺陷全覆蓋檢測的高速面檢設備。

高速取排片

采用輕量化高速轉塔設計，配合分離式下壓Z軸與XYU取排片平臺，實現(xiàn)高速取排，CT＜0.7s。

IR片多類型缺陷檢測

IR檢測排片設備采用高分辨率光學系統(tǒng)對濾光片臟污、印子、劃傷、水印、絲印相關缺陷及凹坑等進行高精度檢測。