產(chǎn)地類(lèi)別 |
進(jìn)口 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀
“Model:UNECS" 是一種光譜橢偏儀,可快速準(zhǔn)確地測(cè)量薄膜的折射率和厚度。它采用du 特的測(cè)量方法,實(shí)現(xiàn)了緊湊的尺寸和高速的測(cè)量。
3 種型號(hào)可用于 Φ150、200 和 300 mm 樣品。自動(dòng)映射 R-θ 載物臺(tái)和自動(dòng)對(duì)焦功能可以測(cè)量整個(gè)樣品表面的薄膜厚度,并通過(guò)彩圖顯示薄膜厚度分布。
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科自動(dòng)型光譜橢偏儀
特征
高速測(cè)量:實(shí)現(xiàn)快照測(cè)量方式,高速測(cè)量每點(diǎn) 20ms。
可見(jiàn)光譜范圍:可以選擇光譜波長(zhǎng)范圍。標(biāo)準(zhǔn)型為 530nm 至 750nm,可見(jiàn)光譜型為 380nm~760nm。
緊湊型傳感器單元:傳感器單元重量輕且非常緊湊。它由一個(gè)沒(méi)有任何旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的光學(xué)元件組成。此外,無(wú)需任何定期維護(hù)。
強(qiáng)大的產(chǎn)品線:擁有強(qiáng)大的產(chǎn)品線,包括便攜式、手動(dòng)/自動(dòng)載物臺(tái)型、內(nèi)置式和大型基板型等。
規(guī)格
型 | 1500 安培 | 2000 安培 | 3000 安培 |
波長(zhǎng)范圍 | 530 至 750 納米或 380 至 760 納米 |
光斑尺寸 | Φ1mm 或 Φ0.3mm |
入射角 | 70° |
薄膜厚度可重復(fù)性 | 1σ = 0.1納米 |
膜厚測(cè)量范圍 | 1納米~2微米 |
測(cè)量時(shí)間 | 采樣時(shí)間 : 20ms 至 3000ms 分析時(shí)間 : 300ms |
樣品臺(tái) | Φ150毫米 | Φ200毫米 | Φ300毫米 |
最大自動(dòng)可測(cè)量積分 | 200點(diǎn) | 200點(diǎn) | 2,000點(diǎn) |
控制 PC | 筆記本電腦,包括分析軟件 |
配置 | 測(cè)量單位。控制單元??刂?PC(筆記本電腦型)和作手冊(cè) (CD)。 |