產(chǎn)地類別 |
進(jìn)口 |
應(yīng)用領(lǐng)域 |
環(huán)保,化工,電子/電池,綜合 |
日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運機器人
ELEC-RZ 是一款基于“Model:COVOT"的出色功能和性能的小型、低成本的高真空兼容移載機器人。
日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運機器人
日本ULVAC愛發(fā)科真空搬運機器人
特征
磁流體密封用于真空密封,可使用高達(dá) 10-6Pa 的高真空。
執(zhí)行器的小型化使其更緊湊,更容易安裝在設(shè)備中。
根據(jù)行程、轉(zhuǎn)彎半徑、手?jǐn)?shù)等,有多種手臂可供選擇。
它使用具有出色作性的多功能顯示示教器。
規(guī)格
型 | 電 RZ |
工作壓力區(qū)域 | 大氣壓~10-6Pa |
晶圓尺寸 | 200 毫米/300 毫米 |
持有的晶圓數(shù)量 | 1 件/2 件 |
最大范圍 * | 1050 毫米 |
旋轉(zhuǎn)角度 | ±210° |
提升行程 | 50 毫米 |
最小旋轉(zhuǎn)直徑 * | 964mm 取決于安裝臂 |
有效載荷能力(包括手) | 1 千克 |
作速度 伸縮式 | 伸縮 | 最大 2.5 秒 / 全行程 |
把 | 最大 3.0 秒 / 180° |
提升 | 最大 1.5 秒 / 20 毫米 |
可重復(fù)的位置精度 | 伸縮 | ±0.1 毫米 |
把 | ±0.1 毫米 |
提升 | ±0.1 毫米 |
示教器 | 附屬品 |
控制器 | 分開 |
*取決于安裝臂和手。
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