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日本ULVAC愛發(fā)科金屬氣相沉積電子束蒸發(fā)源返回列表頁

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參考價(jià): ￥ 2000

訂貨量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)EGN-206M

品牌ULVAC/日本愛發(fā)科

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地長(zhǎng)沙市

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更新時(shí)間：2025-06-27 16:33:08瀏覽次數(shù)：139次

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供貨周期	現(xiàn)貨	應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子/電池,綜合

日本ULVAC愛發(fā)科金屬氣相沉積電子束蒸發(fā)源

特征

它抑制背向散射電子并抑制襯底溫度的升高。

平頂結(jié)構(gòu)減少了電子束蒸發(fā)源上的沉積面積，使其易于清潔。

與以前的型號(hào)相比，新的發(fā)射器結(jié)構(gòu)將零件數(shù)量減少到 60%，使組裝更容易。

可以選擇用于金屬沉積的帶狀光束和用于氧化物/化合物的點(diǎn)光束。

作為設(shè)備制造商積累的專有技術(shù)的反饋到設(shè)計(jì)。

規(guī)格

型		EGN-206M 型	EGN-406M
電子束偏轉(zhuǎn)角		270°
坩堝數(shù)量		6
坩堝容量		20毫升	40毫升
坩堝尺寸：頂部 × 底部× 深度		Φ42×Φ32×19（毫米）	Φ50×Φ41×25（毫米）
冷卻水	爐邊	10L/min 或更高
	其他	2L/min 或更高
尺寸尺寸（寬×深×高）不包含突起項(xiàng)		214×343×144（毫米）
重量		28 公斤或以下
沉積速率		1.6μm/min （帶狀光束 / 鋁 / 8kW / 40cc 坩堝 / 爐膛正上方 250H）
最大加速電壓		-10kV
最大發(fā)射電流		0.8 安培	1.0 安培
適用電源		電子產(chǎn)品HPS-1000N-100/HPS-1000N-200

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