在現(xiàn)代工業(yè)的宏大版圖中，儀器儀表無疑是照亮前行之路的眼睛，而流體測控及其核心零部件的品質(zhì)與技術(shù)高度，更是如同精密齒輪，直接決定著半導(dǎo)體等先進(jìn)制造業(yè)的運(yùn)轉(zhuǎn)效率和精度。

“這是我們自主研發(fā)的MFC330系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，可以用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、生命科學(xué)、燃料電池、高精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動(dòng)化控制等行業(yè)。"11月26日，蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司（以下簡稱“愛拓利"）總經(jīng)理?xiàng)钫讓毮弥种械牧髁坑?jì)介紹。當(dāng)日，他帶著“半導(dǎo)體級氣體質(zhì)量流量計(jì)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化"項(xiàng)目正式入駐吳江開發(fā)區(qū)半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港。

此次開業(yè)的愛拓利工廠一期面積達(dá)1000平方米，內(nèi)部配備十萬級和千級潔凈車間、專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)和完善的服務(wù)平臺。“我們懷揣著對未來的美好憧憬和堅(jiān)定信念，來到吳江開發(fā)區(qū)再創(chuàng)業(yè)，希望為吳江乃至全國的半導(dǎo)體核心配件國產(chǎn)替代進(jìn)程注入強(qiáng)勁新動(dòng)力。"楊兆寶說。

為打破國內(nèi)氣體質(zhì)量流量計(jì)核心部件依賴國外進(jìn)口局面，楊兆寶自2019年開始了氣體質(zhì)量流量計(jì)核心部件（質(zhì)量流量傳感器、微型氣體比例閥）的全面國產(chǎn)化研發(fā)工作。作為國內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)，其產(chǎn)品的核心部件毛細(xì)管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥全面國產(chǎn)、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能趕超進(jìn)口同類產(chǎn)品。

“這項(xiàng)技術(shù)我們用了將近5年時(shí)間進(jìn)行突破，我覺得是一件特別驕傲的事情，我們必須要?jiǎng)?chuàng)新，要制造出我們國家自己的東西。"楊兆寶介紹，企業(yè)計(jì)劃于2025年3月完成搭載了全國產(chǎn)化的層流差壓式氣體質(zhì)量流量傳感器和壓電式全金屬密封比例閥的高性能氣體質(zhì)量流量計(jì)的研發(fā)工作，并開始進(jìn)行測試，預(yù)計(jì)將于2025年6月進(jìn)入小批量試產(chǎn)和市場推廣。

愛拓利的愿景是成為一家在流體測控領(lǐng)域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè)?！拔覀儗Ｗ⒂趽碛凶灾髦R產(chǎn)權(quán)、全面國產(chǎn)化的核心零部件的開發(fā)，以期打破進(jìn)口產(chǎn)品的技術(shù)壟斷，擺脫對進(jìn)口品牌的依賴，大力提升制程和科研中國產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，早日打造出全面國產(chǎn)化的可靠的流體測控產(chǎn)品，解決我國基礎(chǔ)科學(xué)及制程領(lǐng)域所面臨的‘卡脖子’困境。"楊兆寶坦言。

近年來，吳江開發(fā)區(qū)以培育半導(dǎo)體智能裝備產(chǎn)業(yè)為目標(biāo)，打造半導(dǎo)體智能裝備產(chǎn)業(yè)集群，自今年5月起，半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港內(nèi)已陸續(xù)進(jìn)駐12家企業(yè)。愛拓利依托“人才+科技+基金"項(xiàng)目落地，乘著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展的“東風(fēng)"，將在開發(fā)區(qū)大展拳腳。

“我覺得用‘Family’這個(gè)英文單詞來形容吳江開發(fā)區(qū)的親和力最為貼切。吳江開發(fā)區(qū)給了我們企業(yè)‘合適的土壤、養(yǎng)分和陽光’，幫助企業(yè)茁壯成長。未來，愛拓利將組建一支具有創(chuàng)新精神和專業(yè)能力的核心團(tuán)隊(duì)，包括研發(fā)、技術(shù)、營銷、運(yùn)營等方面的人才。同時(shí)，重視不同背景的成員的不同視角和思維方式，助力團(tuán)隊(duì)在產(chǎn)品創(chuàng)新和市場開拓中應(yīng)對各種挑戰(zhàn)。"楊兆寶說。

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