目錄:蘇州愛拓利電子設(shè)備有限公司>>流量計>>氣體質(zhì)量流量計>> MFC300氣體數(shù)顯流量控制器
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 質(zhì)量式 |
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價格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類 | 氣體 |
應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥,電氣 |
MFC300 氣體數(shù)顯流量控制器系列氣體質(zhì)量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應(yīng)速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
產(chǎn)品特點
超快響應(yīng):5ms 測量響應(yīng),300ms控制響應(yīng)
高重復(fù)性,寬量程比
更小體積,安裝方便
無需預(yù)熱,使用便捷
分階流量控制軟件,靈活配置
主要參數(shù)
介質(zhì)要求 潔凈干燥無腐蝕性氣體
氣體種類 Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
測量和控制范圍 0.2%-1 00%F.S. (1:500)
準(zhǔn)確度 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.5%F.S.
線性度 ±0.2%F.S.
分辨率 0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可選)
傳感器響應(yīng)時間 5ms
控制響應(yīng)時間 300ms
預(yù)熱時間 ≤1s
閥門 常閉式
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)