顯微成像橢偏儀是一種結(jié)合光學(xué)顯微成像與橢偏技術(shù)的儀器，主要用于測量薄膜厚度、折射率、吸收系數(shù)等參數(shù)，并獲取樣品表面的三維形貌分布。
顯微成像橢偏儀基于橢圓偏振原理，通過分析入射偏振光經(jīng)樣品反射或透射后的偏振態(tài)變化，結(jié)合光學(xué)顯微成像技術(shù)，獲取樣品表面的三維形貌分布及薄膜厚度、折射率等光學(xué)參數(shù)。
過程包括：
光源與偏振控制：光源發(fā)出的光經(jīng)起偏器變?yōu)榫€偏振光，再通過補(bǔ)償器調(diào)整為特定偏振狀態(tài)(如橢圓偏振光)。
樣品相互作用：偏振光入射到樣品表面，與樣品發(fā)生反射或透射，偏振狀態(tài)因樣品特性(如薄膜厚度、折射率)發(fā)生改變。
檢測與分析：檢偏器測量反射或透射光的偏振狀態(tài)(通常用橢偏角Ψ和Δ描述)，結(jié)合物理模型(如薄膜光學(xué)理論)反演計(jì)算出樣品的厚度、折射率等參數(shù)。同時，CCD成像系統(tǒng)獲取樣品表面不同位置的橢偏參數(shù)，形成三維形貌及厚度分布圖像。
操作注意事項(xiàng)
樣品準(zhǔn)備：
樣品表面需平整、清潔，避免灰塵或劃痕影響偏振光反射。
對于多層膜樣品，需建立合理的物理模型以提高測量精度。
環(huán)境控制：環(huán)境因素(如溫度、振動、雜散光)可能影響測量穩(wěn)定性，需在恒溫、防震的光學(xué)平臺上操作。
數(shù)據(jù)處理：
利用內(nèi)置算法擬合實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)與理論模型，計(jì)算樣品參數(shù)并可視化結(jié)果。
對于復(fù)雜樣品，需結(jié)合多種分析技術(shù)以獲得更準(zhǔn)確的結(jié)果。
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