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綜合薄膜測量軟件
測量n, k,和膜厚
該軟件包是為R(λ)和T(λ)測量的高級分析而設(shè)計的。
疊層膜分析
可以測量單個薄膜和層疊膜的每一層的薄膜厚度和折射率。
大量色散模型
集成的色散模型用于描述所有常用材料的光學特性。利用快速擬合算法,通過改變模型參數(shù)將計算得到的光譜調(diào)整到實測光譜。
用于光譜數(shù)據(jù)的高級分析的SENTECH FTPadv Expert軟件包基于反射和透射測量確定薄膜厚度、折射率指數(shù)和消光系數(shù)。它擴展了薄膜厚度探針FTPadv的標準軟件包,用于更復雜的應用,包括未知或非恒定光學性質(zhì)的材料。可以在光滑或粗糙、透明或吸收襯底上測量單個透明或半透明膜的膜厚、折射率指數(shù)和消光系數(shù)。該軟件允許對復雜層疊進行分析,可以確定各疊層的參數(shù)。
FTPadv Expert 薄膜測量軟件具有FTPadv標準軟件中的用戶友好和基于配方操作的概念。具有突出擬合參數(shù)的光學模型、測量和計算的反射光譜,并且結(jié)果同時顯示在操作屏幕上。
該軟件包包括基于表格化材料文件以及參數(shù)化分散模型的大型和可擴展的材料庫。
FTPadv Expert軟件可選配用于膜厚探針FTPadv和反射儀RM 1000和RM 2000軟件包的一部分。
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