日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器小型帶導(dǎo)桿型DMSDG緩沖機制：內(nèi)置螺旋彈簧機構(gòu)，在到達目標位置時通過彈簧壓縮吸收沖擊，可將壓裝沖擊力控制在 0.5N 以內(nèi)（DMSD...

日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器 帶導(dǎo)桿型GSTS采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動，支持 16 級速度調(diào)節(jié)（5~500mm/s）和 64 點位置細分，可滿足半導(dǎo)體晶圓微米級...

日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器旋轉(zhuǎn)型FGRC采用蝸輪 + 皮帶傳動，支持 16 級速度調(diào)節(jié)（20~200°/s）和 10 級位置細分，可滿足半導(dǎo)體晶圓微米...

日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器滑臺型FLCR采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動，支持 16 級速度調(diào)節(jié)（5~300mm/s）和 10 級位置細分，可滿足半導(dǎo)體晶圓微米級定位...

日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器雙夾爪夾持型FLSH電動驅(qū)動精準可控：區(qū)別于氣動夾爪的 “剛性夾持"，F(xiàn)LSH 系列通過伺服電機驅(qū)動，支持16 級夾持力調(diào)節(jié)（最小調(diào)節(jié)...

日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器3夾爪夾持型DCKW高精度定心夾持：3 夾爪呈 120° 對稱分布，相比 2 夾爪能自動對中工件（定心≤0.02mm），尤其...

日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器GCKWGCKW 系列采用三爪聯(lián)動卡盤設(shè)計，單側(cè)行程達 3mm（總行程 6mm），最大夾持力 29N，可穩(wěn)定抓取 φ16~φ100mm...

日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器FFLDFFLD 系列提供50mm、100mm、160mm三種單側(cè)行程選擇（總行程分別為 100mm、200mm、320mm），其中 ...

日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器滑塊型ELCRELCR 系列是 CKD 面向精密制造、電子半導(dǎo)體及自動化檢測領(lǐng)域推出的滑塊型電動執(zhí)行器，以 “緊湊結(jié)構(gòu) + 高精度控制...

日本CKD半導(dǎo)體電動執(zhí)行器滑塊型ERL2ERL2 系列是 CKD 專為半導(dǎo)體制造場景研發(fā)的步進電機驅(qū)動型直線執(zhí)行器，采用帶滾珠保持器的線性導(dǎo)軌與帶潤滑輔助裝置的...

日本CKD半導(dǎo)體直驅(qū)馬達高精密型(ABSODEX)ABSODEX 小型直驅(qū)馬達（AX7000 系列）是 CKD 專為半導(dǎo)體制造場景研發(fā)的行業(yè)最小尺寸直驅(qū)解決方案...

日本CKD半導(dǎo)體通用型(ABSODEX)ABSODEX 小型直驅(qū)馬達（AX6000M 系列）是 CKD 專為半導(dǎo)體制造場景研發(fā)的行業(yè)最小尺寸直驅(qū)解決方案，采用無...