SMC潔凈氣體過(guò)濾器 返回列表頁(yè)

SMC潔凈氣體過(guò)濾器/SMC潔凈氣體過(guò)濾器

 描述 SFC100 系列 潔凈氣體過(guò)濾器 一次性使用式/多層盤(pán)式

●卡盤(pán)式，可進(jìn)行元件替換

　(SFA100·200·300，SFB100)

●小型、一次性使用型，用于半導(dǎo)體工業(yè)

　(SFB300，SFC100)

字段描述字段取值取值描述

機(jī)種形式 10 額定流量 240L/min(ANR) 

連接方法 0 Rc 

連接口徑 02 Rc、TSJ、URJ:1/4 

其他特性

字段描述取值描述

使用流體 空氣 / 氮?dú)?nbsp;

過(guò)濾器種類(lèi) 潔凈氣體過(guò)濾器·空氣過(guò)濾器 

過(guò)濾精度 0.01 μm 

環(huán)境溫度及使用流體溫度 5～120℃ 

高使用壓力 0.99 MPa 

低使用圧力 [MPa] -0.0013 MPa 

大處理空氣量 240 L/min(ANR)