Edwards 愛德華無油渦旋干泵半導(dǎo)體實(shí)驗(yàn)室泵 返回列表頁(yè)

Edwards XDS35i 渦旋泵具有軸承護(hù)罩，旨在將真空環(huán)境與所有形式的潤(rùn)滑劑隔離。此功能可確保軸承保持干燥，并保護(hù)其免受任何工藝氣體的影響。可調(diào)節(jié)氣鎮(zhèn)允許處理蒸汽，并為許多以前不適合渦旋泵的應(yīng)用開辟了范圍。這款 Edwards XDS35i 泵專為泵送可冷凝蒸汽而設(shè)計(jì)，并使用精選的材料來兼容各種實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用。

此 Edwards XDS35i 干式渦旋粗抽/前級(jí)泵的抽速為 21.0 cfm (35.0 m ³ /hr)，極限真空為 0.008 Torr (0.01 mbar)。該泵有一個(gè)帶入口過濾器的 KF-40 (NW40) 入口和一個(gè) KF-25 (NW25) 出口。它需要 100-240 VAC 單相電源并具有 C19 電源連接器。 XDS35i 消耗 10.6A@120 VAC (6.6A@240 VAC)。該泵配有運(yùn)行/待機(jī)開關(guān)、高/低壓開關(guān)、計(jì)時(shí)器和可通過 DB15 邏輯接口遠(yuǎn)程控制的板載逆變器。這款 Edwards XDS35i 干式渦旋泵的部件號(hào)為 A73001983。