目錄:安徽科冪儀器有限公司>>爐式合成設(shè)備>> 四路混氣系統(tǒng)
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更新時(shí)間：2025-01-17 21:08:54瀏覽次數(shù)：16評(píng)價(jià)
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GD系列配氣設(shè)備
| 配氣設(shè)備 | ||
| 型號(hào) | 類型 | 氣路數(shù)(個(gè)) |
| GDT | 臺(tái)式 | 2~4 |
| GBF | 落地式 | 2以上 |
四路混氣系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目/型號(hào) | GDT-MFC-4 |
| 適配電源 | AC220V 50/60HZ |
| 流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程 | 100sccm/200sccm/300sccm/500sccm（非特殊以氮?dú)鈽?biāo)定，量程可選） |
| 工作溫度 | 5~45℃ |
| 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
| 壓力 | 流量計(jì)耐壓壓力3MPa、系統(tǒng)出口壓力=<0.3MPa（其他非標(biāo)壓力，須定制） |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.5% FS |
| 測(cè)量范圍 | -0.1~0.15 MPa（0.01 MPa/grid） |
| 針閥 | 316不銹鋼 |
| 截止閥 | 316不銹鋼針閥 |
| 尺寸 | 260*450*450 mm |
| GD系列配氣設(shè)備選型表 | ||
| 類型 | 參數(shù) | 選型代碼 |
| 流量計(jì) | 玻璃轉(zhuǎn)子型 | GRF |
| 質(zhì)量流量型 | MFC | |
| 2 | 2 | |
| 3 | 3 | |
| 氣路數(shù) | 4 | 4 |
| 定制 | -- | |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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