目錄:安徽科冪儀器有限公司>>爐式合成設備>>管式爐>> 單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)
| 產地類別 | 國產 | 加熱方式 | 電阻絲 |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 控溫精度 | ±1℃ |
| 升溫速度（達到最高溫） | 10℃/min | 儀器種類 | 管式爐 |
| 應用領域 | 化工,生物產業(yè),石油,能源,制藥/生物制藥 | 最大功率 | 3kW |
| 最高溫度 | 1150℃ |
單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)采用高性能射頻電源，等離子體更穩(wěn)定；
滑軌式結構能使整個反應腔室都處于輝光產生區(qū)；
可實現快速升溫和降溫功能；與傳統(tǒng)CVD相比較，生長溫度更低。
型號：TFE - 1200 - 50 - 220
設計溫度：1150℃（短期）
額定溫度：1100℃
推薦升溫速率：≤10℃/min
控制精度：±1℃
爐管尺寸：Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸：Φ80*220mm
加熱區(qū)長度：220mm
恒溫區(qū)長度：80mm
加熱元件：優(yōu)質國產電阻絲
額定功率：3KW
供氣系統(tǒng)：
①三路高精度MFC
②量程0-500sccm（可定制）
射頻電源：
①射頻功率：5-500W；
②射頻頻率：13.56MHz；
③匹配方式：自動匹配
真空系統(tǒng)：雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等）
外形尺寸：1250*510*810mm
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