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TG350FOsaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
參考價: 3800
訂貨量: 1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • TG350F 產品型號
  • OSAKA大阪真空 品牌
  • 經銷商 廠商性質
  • 成都市 所在地

訪問次數(shù):42更新時間:2025-03-27 15:49:14

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產品簡介
應用領域 環(huán)保,化工,電子/電池,電氣,綜合
Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵
靈活的安裝姿勢、緊湊的尺寸、節(jié)能、快速啟動、可快速停止排氣、能夠進入大氣層、可以進行串行通信
產品介紹

Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵

?半導體制造

?電子槍排氣、離子源排氣

?FPD 制造

?表面處理、表面改性

?各種電子元件的制造

?分析、檢測設備

?管材、光學元件的制造

?加速器、放射線設施、聚變研究

?熱處理

?研發(fā)

* 排放腐蝕性氣體時,請選擇化學相容性 TG-M 或 TG 系列。


Osaka Vacuum大阪真空 復合分子泵

靈活的安裝姿勢

緊湊的尺寸

節(jié)能

可快速停止排氣

結構耐大氣層進入

可以進行串行通信

符合安全標準的 NRTL/SEMI-S2/CE


[使用環(huán)境溫度] 極限壓力保證

環(huán)境溫度為 10~23°C。 允許環(huán)境溫度為風冷 10~32°C,水冷 10~40°C。 極限壓力保證:冷卻水溫度不大于30°C,允許冷卻水溫度為10~35°C。

根據(jù)吸入氣體

的類型,它可能會使軸承潤滑脂和內部零件變質。 請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。


TG350F 系列
進氣法蘭VG100
ISO-R100
CF100
抽速VG / ISO-R?CF
N
2 (升/秒)
350 / 330
VG / ISO-R?CF
N
2(帶保護網(wǎng)) (升/秒)
330 / 310
VG / ISO-R?CF
H
2 (升/秒)
210 / 210
最大壓縮比N21×108
H22×103
極限壓力(Pa / Torr)<1×10-6 / <7.5×10-9
最大氣體流速※1(SCCM)500
啟動時間(分鐘)2-2.5
停機時間(分鐘)5-6.5
允許的輔助壓力(Pa / Torr)260 / 2
推薦的輔助泵(升/分鐘)≧80
安裝姿勢自由
質量VG/ISO-R/CF(千克)6 / 9
控制器類型TC353 系列




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