日本EBARA荏原干式真空泵 EV-X300N北崎供應(yīng)

時間：2025/4/23閱讀：136

日本EBARA荏原干式真空泵 EV-X300N

產(chǎn)品介紹

作為中等負(fù)荷工藝專用的干式真空泵，搭載荏原有的節(jié)能技術(shù)，采用面向自動化工廠制造的優(yōu)化模塊設(shè)計，并進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)了小型化和節(jié)能化。
通過大范圍的溫度控制，擴(kuò)大了適用工藝范圍。因同一機(jī)型能夠覆蓋多種工藝，能夠優(yōu)化備用設(shè)備的庫存，減少用于維護(hù)和培訓(xùn)的人力時間，并且能夠靈活應(yīng)對未來的工藝擴(kuò)展。此外，在所有工藝中實(shí)施最佳的溫度控制，從而實(shí)現(xiàn)工藝耐受性的提高，并且通過延長部件的更換周期，幫助減少TCoO。
應(yīng)對的應(yīng)用例：各種蝕刻和CVD、灰化、離子植入、外延生長等。

EV-X型

小型節(jié)能，僅需一臺設(shè)備即可覆蓋廣泛的工藝流程

支持中等負(fù)荷工藝

支持高溫化控制

節(jié)能

采用標(biāo)配耐腐蝕性材料

增強(qiáng)耐腐蝕性的選配件

不同頻率（50Hz/60Hz）下保持穩(wěn)定性能

無油

可支持CE標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

省空間化

產(chǎn)品規(guī)格

型式	EV-X100N	EV-X200N	EV-X300N
最大處理風(fēng)量(L/min)	10,000	20,000	30,000
到達(dá)壓力(Pa)	0.5	0.5	0.5
電源規(guī)格	3相200-220V (50/60Hz)	3相200-220V (50/60Hz)	3相200-220V (50/60Hz)
到達(dá)底壓時消耗電力(kW)*	0.9	1	1.5

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EV-X型

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小型節(jié)能，僅需一臺設(shè)備即可覆蓋廣泛的工藝流程