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MSD-150D-桌上型半自動顯影機(jī)
  • MSD-150D-桌上型半自動顯影機(jī)
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貨物所在地：安徽合肥市

更新時間：2025-03-28 22:03:20

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( 聯(lián)系我們，請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息，謝謝?。?/p>

MSD-150D主要應(yīng)用于曝光后的顯影工藝。該設(shè)備主要由顯影腔單元、自動擺臂單元、 以及供液系統(tǒng)、主軸系統(tǒng)、控制系統(tǒng)及排液系統(tǒng)等組成，整機(jī)采用框架結(jié)構(gòu)，外表為鏡面不銹鋼，無塵且不吸附顆粒，工作方式為手動上下片，自動完成顯影工藝。
顯影單元基片采用真空吸附加四周擋板固定方式，采用進(jìn)口伺服電機(jī)，保證轉(zhuǎn)速、加速度、控制精度高，重復(fù)性好；供液系統(tǒng)采用廠務(wù)或者壓力容器直接供液方式。
控制系統(tǒng)由觸摸屏和

MSD-150D用于對顯影均勻性和一致性要求較高的表面處理工藝，適合硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵等。主要應(yīng)用于4、6寸晶圓及方片.適合高校、研究所和企業(yè)客戶。

本司提供8寸、12寸桌上型顯影機(jī)，更多功能如吹氣、背洗等請咨詢。

技術(shù)規(guī)格：

項(xiàng)目

規(guī)格

主體

外殼材質(zhì):SUS

處理樣品尺寸：6寸以內(nèi)

承盤:PTFE

馬達(dá):

轉(zhuǎn)速：20-3000 R.P.M

搖臂：自動

操作界面：7寸觸摸屏

顯影裝置

藥液裝置:

顯影 x1

DIW  x1

N2、背洗、背部吹氣可選

控制系統(tǒng)

系統(tǒng): PLC

使用接口：7寸觸屏

配方:手動和自動模式

編程 : 50 組 20 步

安全裝置

晶圓承盤真空滲液保護(hù):

真空檢知:

數(shù)字設(shè)定:真空值下限保護(hù)

運(yùn)行結(jié)束報警提示

附件

真空泵x1

顯影罐x1

去離子水罐x1

廢液桶x1

真空吸盤x1



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