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MSC-200T-D桌上型半自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)用于對(duì)均勻性和一致性要求較高的表面涂布工藝，將光刻膠溶液自動(dòng)涂覆在硅片、磷化銦、碳化硅、氮化鎵、鈮酸鋰、光柵、ITO、掩模版等基片上形成薄膜，主要應(yīng)用于6、8寸晶圓及方形樣品。將基材涂上一層特定的光刻膠、感光涂料或油墨，取出后在進(jìn)行后道烘干工藝。

應(yīng)用程序：

人工放置基板->啟動(dòng)真空吸附->基板吸附于轉(zhuǎn)盤上 ->自動(dòng)滴膠->旋轉(zhuǎn)開(kāi)啟->低轉(zhuǎn)速->中轉(zhuǎn)速->高轉(zhuǎn)速->旋轉(zhuǎn)停止->去邊->破真空->人工取件。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

針筒式滴膠方式更適合科研和小批量生產(chǎn)，不用清洗管道；

整機(jī)用料扎實(shí)、750W進(jìn)口伺服電機(jī)、適合更大更重樣品；

吸盤平整度精細(xì)加工平磨，均勻性好，可達(dá)1%以內(nèi)；

電氣獨(dú)立集成機(jī)身側(cè)面，避免因腔體漏液到設(shè)備內(nèi)部導(dǎo)致短路風(fēng)險(xiǎn)；

配置光膠過(guò)濾器，清洗保養(yǎng)方便，避免堵膠帶來(lái)飛片風(fēng)險(xiǎn)；

真空負(fù)壓數(shù)值顯示和低真空?qǐng)?bào)警，避免因負(fù)壓不足帶來(lái)飛片風(fēng)險(xiǎn)；

安全措施：

功能	規(guī)格
真空檢知	面版上有數(shù)位顯示計(jì)，低壓報(bào)警
蓋子檢測(cè)	運(yùn)行中開(kāi)蓋報(bào)警
防吸入光阻裝置	加裝于真空PUMP之前,預(yù)防光阻液吸入需定期清潔保養(yǎng)
電控箱	位置放在側(cè)面，防止漏液帶來(lái)短路風(fēng)險(xiǎn)

產(chǎn)品參數(shù)：

桌上型半自動(dòng)旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)	供電電壓	AC220V,50Hz	操作方式	7寸觸控屏
	轉(zhuǎn)速	20~10000rpm	滴膠方式	手動(dòng)滴膠/自動(dòng)
	加速度	350~10000rpm/s	編程	可編程50組20步
	減速度	350~10000rpm/s	均勻性	1%
	轉(zhuǎn)速分辨率	1rpm	抽氣接口	Φ6mm快擰接口
	單步時(shí)間	3000s	整機(jī)尺寸	650mm×500mm×550mm
	基片尺寸	直徑≤8英寸(200mm)	整機(jī)重量	55kg
	腔體材質(zhì)	PTFE	光刻膠容器	膠泵、壓力罐、美式針筒
	滴膠管路	≤3路（背洗、去邊可選）	核心配件品牌	SMC、CKD、松下、西門子、小金井等
排氣系統(tǒng)	真空泵	干式機(jī)械泵
	抽氣速率	50L/min
	供電電源	AC220V 50/60Hz

可提供12寸晶圓（均勻性＜2%）、方片、膠泵滴膠、壓力罐滴膠等多種滴膠方式，以滿足不同產(chǎn)量要求，更多需求可咨詢。

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