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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> Osaka大阪真空 干式真空泵 ER100D
所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時(shí)間：2025/6/19 16:26:04
訪問(wèn)次數(shù)：17
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干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種無(wú)需任何工作液（油或水）參與抽氣過(guò)程的機(jī)械真空泵，代表了當(dāng)今真空技術(shù)發(fā)展的前沿方向。這類泵通過(guò)在泵腔內(nèi)直接機(jī)械運(yùn)動(dòng)來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮和排出，避免了工作介質(zhì)對(duì)真空環(huán)境的污染。干式真空泵技術(shù)起源于20世紀(jì)80年代，隨著半導(dǎo)體、光伏等精密制造業(yè)對(duì)清潔真空環(huán)境需求的增長(zhǎng)而迅速發(fā)展成熟。
干式真空泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域
（一）半導(dǎo)體與微電子制造
晶圓加工過(guò)程中的刻蝕、CVD、PVD設(shè)備
離子注入機(jī)的真空系統(tǒng)
光刻機(jī)的環(huán)境控制
封裝測(cè)試環(huán)節(jié)的真空處理
（二）光伏與平板顯示
太陽(yáng)能電池鍍膜生產(chǎn)線
LCD/OLED面板制造設(shè)備
真空層壓工藝
（三）化工與制藥
高純度藥品的真空干燥
反應(yīng)釜的抽真空系統(tǒng)
溶劑回收裝置
無(wú)菌包裝生產(chǎn)線
（四）科研與制造
電子顯微鏡配套系統(tǒng)
空間環(huán)境模擬裝置
核聚變實(shí)驗(yàn)設(shè)備
精密光學(xué)元件鍍膜
（五）新興技術(shù)領(lǐng)域
鋰離子電池真空干燥
氫能源制備與儲(chǔ)存
碳捕集與封存技術(shù)
3D打印金屬粉末處理
| 型 | ER100D/ER100DC （耐腐蝕型） | |
| 抽速 （L/min） | 1670 | |
| 測(cè)試極限壓力 （Pa） | 5.0 | |
| 極限壓力下的功耗 （W） | 400 | |
| 權(quán)力 | 電壓 （V） | 200-220 |
| 頻率 （Hz） | 50/60 | |
| 相數(shù) | 三個(gè)階段 | |
| 電源容量 （kVA） | 3.2 | |
| N2 吹掃氣體流速 （Pa·m3/s） | 17-20 | |
| 冷卻方式 | 水冷式 | |
| 冷卻水量 （L/min） | 1.5-3.0 | |
| 冷卻水溫度 （°C） | 最多 30 個(gè) | |
| 重量 （kg） | 60 | |
■ 在節(jié)能、體積小、輕量化方面是同類產(chǎn)品中干式真空泵之一。
極限壓力下的功耗：400W 占地面積
：0.11m2
重量：60 kg
■ 根據(jù)用途提供產(chǎn)品規(guī)格。
ER100D：非常適合輕負(fù)載排氣和清潔工藝
ER100DC：使用具有高耐腐蝕性的材料來(lái)承受腐蝕性氣體排放
高斯摩(成都)國(guó)際貿(mào)易有限公司 - 主營(yíng)產(chǎn)品： 主要經(jīng)營(yíng)光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測(cè)、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn) ...
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