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供應(yīng)簡介

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵是一種集成了分子泵和機械泵工作原理的高真空獲取設(shè)備，通過創(chuàng)新的結(jié)構(gòu)設(shè)計實現(xiàn)了泵體在空間姿態(tài)上的靈活適應(yīng)性。與傳統(tǒng)分子泵相比，該類型泵采用了復(fù)合式抽氣機制，結(jié)合了渦輪分子泵的高抽速特點和牽引分子泵的高壓縮比優(yōu)勢，同時通過柔性支撐系統(tǒng)和智能控制技術(shù)，使泵體能夠在傾斜、旋轉(zhuǎn)等多種姿態(tài)下穩(wěn)定工作。

詳細介紹

Osaka Vacuum大阪真空柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵 TG50F

這種泵的核心技術(shù)在于其多級轉(zhuǎn)子系統(tǒng)，通常包含高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片級和螺旋槽式的牽引級，通過精密配合實現(xiàn)氣體分子從進氣口到出氣口的定向傳輸。柔性設(shè)計使得泵體能夠適應(yīng)復(fù)雜安裝環(huán)境，特別適合空間受限或需要動態(tài)調(diào)整姿態(tài)的應(yīng)用場景。

進氣法蘭		VG65 ISO-R63 CF63 系列
抽速	N2 （升/秒）	51
	N2（帶保護網(wǎng)）（升/秒）	49
	H2 （升/秒）	12
最大壓縮比	N2	1,4×10%7
最大壓縮比	H2	5×102
極限壓力	VG/ISO-R/CF （帕）	<3×10-6
極限壓力	VG?ISO-R/CF （托）	<2.3×10-8
最大氣體流速※1	N2 （SCCM）	80
啟動時間	（分鐘）	1-1.5
停機時間	（分鐘）	1-1.5
允許的輔助壓力	（Pa / Torr）	1330 / 10
推薦的輔助泵	（升/分鐘）	≧50
安裝姿勢		自由
質(zhì)量	VG/ISO-R/CF（千克）	4.2 / 6
控制器類型		TC64 系列

[ 工作環(huán)境溫度 ]
極限壓力保證環(huán)境溫度為 10~23°C。允許環(huán)境溫度為風(fēng)冷 10~32°C，水冷 10~40°C。極限壓力保證：冷卻水溫度不大于30°C，允許冷卻水溫度為10~35°C。
根據(jù)吸入氣體
的類型，它可能會使軸承潤滑脂和內(nèi)部零件變質(zhì)。請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵的技術(shù)特點

1. 結(jié)構(gòu)設(shè)計特點

柔性姿態(tài)復(fù)合分子泵采用模塊化轉(zhuǎn)子組件，各級轉(zhuǎn)子通過柔性聯(lián)軸器連接，允許微小的相對位移。軸承系統(tǒng)通常采用混合陶瓷軸承或磁懸浮軸承，配合主動振動控制系統(tǒng)，確保在不同工作姿態(tài)下的運轉(zhuǎn)穩(wěn)定性。泵殼設(shè)計考慮了熱膨脹系數(shù)匹配問題，采用特殊合金材料制造，保證溫度變化時的幾何精度。

2. 抽氣機制復(fù)合性

前級采用渦輪分子泵結(jié)構(gòu)，由20-40級動葉片和靜葉片交替排列組成，實現(xiàn)氣體的初步壓縮；后級轉(zhuǎn)為螺旋牽引結(jié)構(gòu)，通過高速旋轉(zhuǎn)的螺旋槽與靜止壁面形成分子流，將氣體進一步壓縮至可被前級泵處理的壓力范圍。這種復(fù)合設(shè)計使泵在10-10?Pa范圍內(nèi)都能保持較高抽速。

3. 姿態(tài)適應(yīng)性技術(shù)

通過六維力傳感器實時監(jiān)測泵體受力狀態(tài)，結(jié)合主動平衡控制系統(tǒng)動態(tài)調(diào)整轉(zhuǎn)子動平衡。采用抗傾覆軸承設(shè)計和分布式潤滑系統(tǒng)，確保泵在±30°傾斜范圍內(nèi)正常工作。部分型號還配備姿態(tài)記憶功能，可自動恢復(fù)工作參數(shù)。

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