美薩科技(蘇州)有限公司
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當(dāng)前位置:美薩科技(蘇州)有限公司>>科學(xué)儀器>>MIKASA米卡薩>> AD-3000MIKASA株式會(huì)社上海曝光機(jī)

MIKASA株式會(huì)社上海曝光機(jī)

參   考   價(jià): 60000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)AD-3000

品       牌MIKASA/米卡薩

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地蘇州市

更新時(shí)間:2025-07-19 17:51:02瀏覽次數(shù):39次

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日本MIKASA株式會(huì)社米卡薩中國現(xiàn)貨代理
日本MIKASA株式會(huì)社米卡薩中國現(xiàn)貨代理
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半導(dǎo)體制造工序中的Mikass半導(dǎo)體設(shè)備

為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa
備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務(wù)。另外,為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī),可在發(fā)生故障時(shí)盡早應(yīng)對(duì),且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對(duì)研究過程中所發(fā)生的一系列問題,也可在現(xiàn)場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個(gè)工序出現(xiàn)了問題、應(yīng)如何改進(jìn)等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個(gè)可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問,不僅銷售設(shè)備,而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程
晶圓→洗滌(清除晶圓表面的臟污及各種金屬離子)→成膜(在高溫?cái)U(kuò)散爐中,形成表面氧化膜)→光刻膠涂布(將光刻膠(感光材料)涂抹到晶圓表面,形成厚度均一的薄膜)→曝光(將光掩膜與晶圓重合,復(fù)制電路圖案)→顯影(去除曝光部位(正膠)的光刻膠)→蝕刻(通過腐蝕氧化膜來蝕刻電路)

日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂膜儀SpinCoater.

光刻膠涂布/將光刻膠(感光材料)涂抹到晶園表面,形成厚度均一-的薄膜。旋轉(zhuǎn)涂膜儀

滴液裝置可選組件 吸盤

●MS-B100/ MS-B150

●MS-B200

●MS-B300

●MS-B200 (密閉型)

●MS-B300 (密閉型)

日本MIKASA光刻機(jī)

●MA-10

●MA-20

●MA-60F

●M-2LF

●M-1S

日本MIKASA曝光,將光掩膜與晶園重合,復(fù)制電路圖案。

日本MIKASA顯影、蝕刻裝置DeveloperEtching

去除曝光部位(正膠)的光刻膠。
●AD-1200

●AD-3000

●PD-1000


日本MIKASA蝕刻裝置

蝕刻裝置

●ED-1200

●ED-3000

日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)MS-150
MIKASA 旋轉(zhuǎn)涂布機(jī) MS-A150/MS-B150 現(xiàn)貨
代理MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)SpinCoater MS-B200
日本MIKASA旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)MS-A150/MS-B150 現(xiàn)貨
為半導(dǎo)體制造工序提供支持的Mikasa
備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務(wù)。另外,為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī),可在發(fā)生故障時(shí)盡早應(yīng)對(duì),且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對(duì)研究過程中所發(fā)生的一系列問題,也可在現(xiàn)場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個(gè)工序出現(xiàn)了問題、應(yīng)如何改進(jìn)等等,從而得出解決建議。Mikasa 作為一個(gè)可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問,不僅銷售設(shè)備,而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程給出支持。


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