產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 電阻絲 排 碳棒 硅鉬棒 |
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價(jià)格區(qū)間 | 5千-1萬 | 控溫精度 | ±1℃ |
內(nèi)部尺寸 | φ40 60 80 100 120mm | 升溫速度(達(dá)到最高溫) | 10-60/min |
儀器種類 | 箱式爐 | 最大功率 | 1-30KkW |
最高溫度 | 1200-1800℃ |
產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
高溫實(shí)驗(yàn)室開啟式RTP快速升降溫管式爐產(chǎn)品描述:
RTP快速升降溫管式爐外形美觀大方,結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)*合理。以鹵素燈管為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和智能化程序控溫系統(tǒng),爐膛采用多晶纖維材料,保溫節(jié)能。
產(chǎn)品功能及特點(diǎn):
1、加熱元件采用鹵素燈管加熱,爐膛保溫材料采用氧化鋁多晶纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強(qiáng)度高,無雜球,純度高,節(jié)能效果明顯優(yōu)于國內(nèi)纖維材料。
2、整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu),中間有氣隙隔離,即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1000℃,爐體表面仍然可以安全觸摸無滾燙感覺。
3、爐膛采用節(jié)能材料制作,整機(jī)能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3,節(jié)能環(huán)保。
4、爐體配有:加熱指示燈,爐子加熱狀態(tài)一目了然。
5、超溫報(bào)警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠具有多重防護(hù)功能。
高溫實(shí)驗(yàn)室開啟式RTP快速升降溫管式爐開啟式RTP快速升降溫退火爐,是由我公司自主研發(fā)的高性能熱處理設(shè)備。本產(chǎn)品采用*制造工藝,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體上下兩半設(shè)計(jì),可自由打開閉合,安全可靠,爐管外徑100mm,爐膛采用高純氧化鋁纖維材料真空吸附成型,表面涂有高反射率高溫保護(hù)涂層,既能降低熱量損耗,還能提高爐內(nèi)溫度穩(wěn)定性。試驗(yàn)樣品放置于密封的石英管內(nèi),內(nèi)部潔凈度高,可降低間接污染的可能。已廣泛用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域,該系統(tǒng)可滿足離子注入后的快速退火,也可用于歐姆接觸快速合金,還可用于硅化物合金退火,氧化物生長,以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。本產(chǎn)品采用紅外加熱,升溫速度快達(dá)30℃/S,爐體下部配有軌道,可左右移動(dòng)至底部風(fēng)扇處,以達(dá)到快速冷卻的目的。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | AS1200-PRT | |
溫度控制 | *高溫度點(diǎn) | 1200℃ |
額定溫度 | 1100℃ | |
穩(wěn)定狀態(tài)溫度范圍 | 200-1050℃ | |
溫度測量精度 | ±0.2℃ | |
溫度控制重復(fù)性 | ±1℃ | |
溫度控制**度 | ±1℃ | |
溫度均勻性 | ±2℃ | |
溫度狀態(tài)工藝時(shí)間 | 7-32 S(200-1050℃) | |
*快升溫速率 | 30℃/S(可按需定制) | |
降溫速率 | 1-200℃(將試樣移出加熱區(qū)域或通氮?dú)饪杉涌旖禍兀?/td> | |
溫度控制模式 | 智能模糊PID全閉環(huán)控制 | |
觸摸屏 | 尺寸 | 7寸LCD 工控 |
物理指標(biāo) | *大功率 | 18 Kw |
額定電壓 | AC380V,50/60Hz | |
測溫元件型號(hào) | K型熱電偶 | |
石英管規(guī)格 | Φ100*1500 | |
真空度 | 選配分子泵真空度可達(dá)4*10-3Pa | |
抽氣端口尺寸 | KF25或Φ6mm | |
進(jìn)氣端口尺寸 | Φ6mm | |
冷卻方式 | 自然冷卻或強(qiáng)迫風(fēng)冷N2或壓縮空氣:2psi(0.14kg/cm2)– 7psi(0.5kg/cm2) |