FS4001氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)及說(shuō)明

來(lái)源：廣州海倫儀器儀表有限公司 2017年03月29日 09:23

FS4001-30氣體質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：FS4001-30氣體質(zhì)量流量計(jì)

FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)小流量氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類(lèi)管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。

FS4001-30氣體質(zhì)量流量計(jì)

產(chǎn)品特點(diǎn)：

- 傳感器靈敏度高,有極小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量,無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償,保證了傳
- 感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成,使傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性
- 全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗
- 低壓損
- 響應(yīng)時(shí)間快

主要參數(shù)：

性能參數(shù)	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
zui大流量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重復(fù)性	0.25		%讀數(shù)
零點(diǎn)輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	±0.12		%/oC
響應(yīng)時(shí)間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出方式	線(xiàn)性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
zui大流量壓損	350	300	pa
zui大工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲(chǔ)溫度	-20 ~ +65		oC
工作濕度	<95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露）
機(jī)械接口	可拆式軟管接頭
校準(zhǔn)方式	空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g

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