白光干涉中的機械相移，對于反射鏡移動的技術(shù)難點

一、反射鏡移動精度要求高

白光干涉測量對光程差的改變非常敏感，即使是微小的移動也會導(dǎo)致顯著的相位變化。因此，反射鏡的移動必須非常精確，通常要達到納米級別。這種高精度的移動要求機械系統(tǒng)具有良好的穩(wěn)定性和分辨率。

二、機械系統(tǒng)穩(wěn)定性挑戰(zhàn)

反射鏡的移動通常依賴于機械系統(tǒng)，如壓電陶瓷、精密絲杠等。然而，這些機械系統(tǒng)容易受到溫度、振動等外部因素的影響，導(dǎo)致移動不穩(wěn)定。為了提高穩(wěn)定性，需要采取一系列措施，如溫度控制、減震設(shè)計等。

三、非線性誤差的校正

機械系統(tǒng)在移動過程中可能會產(chǎn)生非線性誤差，即移動量與預(yù)期值之間存在偏差。這種偏差會影響白光干涉測量的準確性。為了校正非線性誤差，需要對機械系統(tǒng)進行精確的校準，并采取相應(yīng)的補償措施。

四、反射鏡移動速度的控制

在某些應(yīng)用中，需要快速改變反射鏡的位置以實現(xiàn)高速測量。然而，機械系統(tǒng)的響應(yīng)速度和加速度受到限制，可能導(dǎo)致無法及時完成所需的移動。因此，需要在機械設(shè)計中考慮高速響應(yīng)和加速度的要求。

五、反射鏡的定位精度

白光干涉測量中，反射鏡的準確定位對于獲取精確的測量結(jié)果至關(guān)重要。然而，由于機械系統(tǒng)的限制和外部環(huán)境的影響，反射鏡的定位精度可能會受到影響。為了提高定位精度，需要采用高精度的傳感器和反饋控制系統(tǒng)來實時監(jiān)測和調(diào)整反射鏡的位置。

六、機械磨損與壽命問題

長時間使用會導(dǎo)致機械部件的磨損和性能下降。在白光干涉測量中，這種磨損可能會影響反射鏡的移動精度和穩(wěn)定性。因此，需要選擇高質(zhì)量的機械部件并定期進行維護和更換。

綜上所述，白光干涉中的機械相移技術(shù)難點主要涉及反射鏡的移動精度、機械系統(tǒng)穩(wěn)定性、非線性誤差校正、移動速度控制、定位精度以及機械磨損與壽命問題。為了解決這些難點，需要采用機械設(shè)計和控制技術(shù)，并不斷優(yōu)化和改進測量系統(tǒng)。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題，實現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實現(xiàn)良好的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測量范圍高達100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng)，實現(xiàn)實現(xiàn)“動態(tài)”3D輪廓測量。

實際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

2，毫米級視野，實現(xiàn)5nm-有機油膜厚度掃描

3，良好的“高深寬比”測量能力，實現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。