non-standard-2 3D輪廓測(cè)量儀 外置式 超長距離減薄厚度測(cè)量
參考價(jià) | ¥ 1 |
訂貨量 | ≥1套 |
- 公司名稱 廣州萬智光學(xué)技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) non-standard-2
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2024/12/2 16:40:50
- 訪問次數(shù) 33
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 非接觸式輪廓儀/粗糙度儀 |
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價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子,航天,汽車,電氣,綜合 |
在直徑高達(dá)12英寸的晶圓的未調(diào)節(jié)條件下以1nm的精度測(cè)量晶圓的平坦度。傳統(tǒng)的晶圓厚度映射技術(shù)難以保持準(zhǔn)確性,尤其是在遇到涉及溫度變化或振動(dòng)的不穩(wěn)定環(huán)境時(shí)。TMS-2000的創(chuàng)新硬件設(shè)計(jì)有效減少了這些環(huán)境因素的影響。高速測(cè)量能力和緊湊的尺寸使其成為測(cè)量各種晶圓材料(包括硅(~P++)、sic、藍(lán)寶石、玻璃、LiNbO 3和SOI)平坦度的理想選擇。
特征
晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng),可測(cè)量1納米的平整度
精確測(cè)量對(duì)溫度變化和振動(dòng)不敏感
亞納米厚度重復(fù)性
完整的晶圓映射,具有可定制的掃描模式
單面照明
晶圓到晶圓比較
適用于重?fù)诫s硅以及功率半導(dǎo)體和多層晶圓
符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量
相對(duì)于傳統(tǒng)解決方案的成本優(yōu)勢(shì)