OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL 滑動式雙溫區(qū)PECVD

產(chǎn)品特點：

•射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

•滑軌式可快速加熱和快速冷卻;

•兩個加熱區(qū)，溫度梯度最大可達 200°c;

•可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。

加熱爐參數(shù)：

•最高溫度：1200°C（<30min），連續(xù)工作溫度：1100℃；

•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；

•輸入功率：208-240V，單相，最大功率：3KW；

•高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗；

•爐體開啟式設計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

射頻電源：

真空系統(tǒng)：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達10-2Torr。

供氣系統(tǒng)（可選）：

•客戶可選購四通道質子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

產(chǎn)品尺寸和重量：

設備總體尺寸：2200mmL 800mmW 1500mmH

凈重：610kg

注意：

采用氬氣高于射頻功率200W情況下，需特殊說明：設備需要特殊改造幾測試，（有法蘭過熱情況）

質保：

一年保質期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件

因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內