OTF-1200X-50Ⅱ4CV-PE-MSL 帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動(dòng)PECVD

產(chǎn)品特點(diǎn)：

•與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫對(duì)薄膜的損壞；

•可通過爐體滑動(dòng)來達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果；

•爐體有兩個(gè)溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個(gè)溫區(qū)最大溫差為400℃；

•帶有預(yù)熱爐，氣體可通過此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

加熱爐參數(shù)：

•連續(xù)工作最高溫度為1100℃

•兩個(gè)PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；兩個(gè)溫區(qū)最大溫差為：400℃

•內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長儀器的使用壽命。

•工作電源：208-240V AC單相，最大功率：4KW

電動(dòng)滑軌：

•可將電動(dòng)滑軌安裝在爐體下端，將爐體滑動(dòng)，以達(dá)到快速升溫和快速降溫的效果

•滑動(dòng)速度：0-70 mm/s（可調(diào)）

升降溫速率：
• RS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費(fèi)用在本公司購買)

•為獲得最大的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品放置區(qū)

射頻電源：

真空系統(tǒng)：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達(dá)10-2Torr。

供氣系統(tǒng)（可選）：

•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計(jì)控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進(jìn)出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動(dòng)控制氣體進(jìn)出；

• PLC觸摸屏可以簡便地進(jìn)行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量：

爐體尺寸：550mmL-380mmW-520mmH

滑軌長度：1750mm

凈重：220Lbs

質(zhì)保：

一年保質(zhì)期，終身維護(hù)，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件