OTF-1500X-Ⅱ-4CV-PE-SL 三溫區(qū)1500℃PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品特點：

•帶有石英觀察窗口的不銹鋼真空密封法蘭，便于觀察等離子發(fā)光（圖1）；

•射頻電源可實現(xiàn)等離子增強，從而顯著降低實驗溫度；

•四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控;

•此款設(shè)備可安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦（圖2、3）；

•此款設(shè)備可選配控溫精度為±0.1℃的歐陸儀表（圖4）。

基本參數(shù)：

•最高工作溫度1500℃（<30min）；連續(xù)使用溫度1400℃；

•三個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃，帶有超溫和斷偶保護；

•·輸入電源： 208-240V，AC，單相；最大功率：6.6 KW；

•內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時延長儀器的使用壽命。

•注意：此設(shè)備不標(biāo)配爐管。購買前請與我們銷售確定爐管相關(guān)事宜。

射頻電源：

真空系統(tǒng)：

•·采用TRP-12的雙旋真空泵；

• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

•真空度可達10-2Torr。

供氣系統(tǒng)（可選）：

•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;

•流量范圍：

•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。

產(chǎn)品尺寸和重量：

•爐體尺寸： 550mm L'380mm W'520mm H

•爐體下端移動柜：1800mm L'600mm W'600mm H

•凈重：100 kg

•運輸重量：550 kg

承諾：

一年保質(zhì)期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件