MC-3472L LINTEC琳得科 質量流量控制器
| 參考價 | ￥ 25190 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 LINTEC/琳得科
- 型號 MC-3472L
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/28 14:29:17
- 訪問次數(shù) 38
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3472L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-3472L
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。
核心技術架構
傳感系統(tǒng)：
熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設計，溫度分辨率達0.01℃
閥體系統(tǒng)：
壓電瓷閥（響應時間<10ms）
電磁比例閥（壽命>10?次循環(huán)）
| 溫度 | 最下壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 最小F.S. | 最小F.S. | 密封件 |
| 5～50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 400SLM | Au |
典型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）
3. 制藥行業(yè)：
生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯(lián)控）
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。
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