MM-3102L-TN LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L-TN

LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3102L-TN

質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。

由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對(duì)流量進(jìn)行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準(zhǔn)地對(duì)流體進(jìn)行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體制造：

晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）

CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）

2. 新能源領(lǐng)域：

燃料電池氫氣供應(yīng)（動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms）

4. 科研實(shí)驗(yàn)：

催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）

質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補(bǔ)慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時(shí)。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會(huì)產(chǎn)生電力對(duì)Ru及Rd進(jìn)行加溫。

技術(shù)驗(yàn)證數(shù)據(jù)

案例1：半導(dǎo)體刻蝕工藝

控制氣體：Cl?/HBr混合氣

流量范圍：50-200sccm

穩(wěn)定性測(cè)試：8小時(shí)波動(dòng)<±0.3%

匹配度：與終點(diǎn)檢測(cè)系統(tǒng)同步誤差

案例2：燃料電池測(cè)試

氫氣流量：0-5000sccm

階躍響應(yīng)：10%-90%流量變化耗時(shí)200ms

耐久測(cè)試：連續(xù)工作5000小時(shí)零漂移