MM-3202L-TN LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器
| 參考價 | ￥ 25180 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司
- 品牌 LINTEC/琳得科
- 型號 MM-3202L-TN
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/28 14:53:51
- 訪問次數(shù) 32
MM-3202L-TN琳得科 MM-3202L-TNLINTEC琳得科質(zhì)量流量控制器進口質(zhì)量流量控制器
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主要經(jīng)營光學(xué)設(shè)備、電子計測、科學(xué)儀器、機械加工設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動化上萬種產(chǎn)品的銷售。
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3202L-TN
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MM-3202L-TN
質(zhì)量流量控制器是一種被使用在半導(dǎo)體,液晶面板以及其他電子設(shè)備制造工程當(dāng)中,控制氣體或液體質(zhì)量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質(zhì)量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準(zhǔn)地對流體進行控制。質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。
典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
2. 新能源領(lǐng)域：
燃料電池氫氣供應(yīng)（動態(tài)響應(yīng)<50ms）
4. 科研實驗：
催化反應(yīng)研究（多路氣體并行控制）
| 溫度 | 使用圧力 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 | |
| low | 80~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
| high | 100~120℃ | 400kPa(D) | ±1%F.S. | 10SCCM | 25SLM | Au |
質(zhì)流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質(zhì)流傳感器(RD)所構(gòu)成。當(dāng)氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。
技術(shù)驗證數(shù)據(jù)
案例1：半導(dǎo)體刻蝕工藝
控制氣體：Cl?/HBr混合氣
流量范圍：50-200sccm
穩(wěn)定性測試：8小時波動<±0.3%
匹配度：與終點檢測系統(tǒng)同步誤差
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