MM-3102L LINTEC琳得科 質量流量控制器
| 參考價 | ￥ 25100 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 高斯摩(成都)國際貿易有限公司
- 品牌 LINTEC/琳得科
- 型號 MM-3102L
- 產(chǎn)地
- 廠商性質 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/3/28 14:43:54
- 訪問次數(shù) 30
聯(lián)系方式：張斌15528325588 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
主要經(jīng)營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環(huán)境試驗設備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學用品、FA自動化上萬種產(chǎn)品的銷售。
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3102L
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3102L
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。
由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制，故不受溫度及壓力的影響，可精準地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。
典型應用場景
1. 半導體制造：
晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）
CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）
離子注入（BF?/PH?精確配氣）
2. 新能源領域：
燃料電池氫氣供應（動態(tài)響應<50ms）
鋰電材料燒結（N?/O?混合控制）
光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）
4. 科研實驗：
催化反應研究（多路氣體并行控制）
質譜儀載氣調節(jié)（0.1-10mL/min微流量）
環(huán)境模擬實驗（溫濕度聯(lián)動控制）
| 溫度 | 壓力規(guī)格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
| 5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數(shù)的阻抗線的上流端(RU)，下流端(Rd)及環(huán)境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走，造成溫度下降，為維持原本與比的溫差，回路會產(chǎn)生電力對Ru及Rd進行加溫。
產(chǎn)品核心優(yōu)勢
精準控制能力：
采用自適應PID算法，在10%-100%量程內保持線性度±0.5%
零漂移補償技術，長期穩(wěn)定性<±0.5%/年
采購中心
化工儀器網(wǎng)