目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>表面微納測量>>晶圓翹曲度測量儀>> FPEH-MX20晶圓翹曲度厚度測試儀
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 價格區(qū)間 | 20萬-50萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子 |
晶圓翹曲度厚度測試儀是專業(yè)為晶圓翹曲度測量和晶圓厚度測量設(shè)計的晶圓厚度翹曲度測量儀器。
晶圓翹曲度厚度測試儀應(yīng)用
晶圓來料檢測
晶圓研發(fā)和質(zhì)量控制
標準厚度型號
| 型號 | 晶圓直徑 | 傳感器數(shù) | 厚度范圍 | 精度 | 分辨率 | 測量指標 |
| MX 203-4-37-Q | 2", 3", 4" | 21, 37 | 300 - 800µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV |
| MX 203-6-33-Q | 3", 4", 5", 6" | 9, 13, 21, 33 | 300 - 800µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV |
| 型號 | 可容納晶圓尺寸 | 傳感器數(shù) | 厚度范圍 | 精度 | 分辨率 | 測量指標 |
| MX 203-6-41-q | 100x100, 125x125, 156x156 | 21, 33, 41 | 160 - 700µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-8-25-q | 125x125, 156x156 | 17, 25 | 150 - 600µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
| MX 204-8-49-q | 125x125, 156x156 | 25, 49 | 100 - 600µm | 1µm | 0.1µm | 厚度,TTV,BOW, Warp |
晶圓翹曲度厚度測試儀是專業(yè)為晶圓翹曲度測量和晶圓厚度測量設(shè)計的晶圓厚度翹曲度測量儀器。
晶圓翹曲度厚度測試儀是專業(yè)為晶圓翹曲度測量和晶圓厚度測量設(shè)計的晶圓厚度翹曲度測量儀器。
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