手動光譜橢偏儀是高性價比手動橢偏儀,它采用手動改變測角計入射角技術(shù),相比于自動改變?nèi)肷浣堑淖詣?strong style="padding: 0px; margin: 0px;">光譜橢偏儀價格*低。
橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù)。
與反射計或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮?，可獲得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于*化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于固定角橢偏儀。

手動光譜橢偏儀特色
易于安裝，拆卸和維護(hù)
**的光學(xué)設(shè)計
自動改變?nèi)肷浣牵肷浣欠直媛矢哌_(dá)0.01度
高功率光源適合多種應(yīng)用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實(shí)或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式，服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測量
一鍵快速測量
全自動標(biāo)定和初始化
精密樣品準(zhǔn)直界面直接樣品準(zhǔn)直，不需要額外光學(xué)
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出
手動光譜橢偏儀參數(shù)
波長范圍：400-1100nm 
波長分辨率：1nm
測量點(diǎn)大?。?-5mm可調(diào)
入射角：0-90度可調(diào)
入射角分辨率：5度
可測樣品大?。焊哌_(dá)200mm 直徑或150x 150mm
可測樣品厚度：高達(dá)20mm 
測量薄膜厚度：5nm ---30um
測量時間：~1s/點(diǎn)
精度：~0.25%
重復(fù)精度：<1A
手動光譜橢偏儀可選配件
反射或透射光度測量配件
微點(diǎn)測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學(xué)研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置