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等離子清洗機(jī)用于提高芯片封裝力,去除表面污染物,避免靜電損傷。采用等離子體清洗機(jī)處理芯片及封裝載板,不僅可獲得超純化的焊面,而且能有效地提高焊面活性,防止虛焊,減少焊縫空洞,同時(shí)提高焊縫邊緣高度和包覆性,提高封裝的機(jī)械強(qiáng)度,減小由于不同材料熱膨脹系數(shù)造成的焊縫間的內(nèi)剪力,提高產(chǎn)品的可靠性和壽命。
等離子清洗機(jī)能增強(qiáng)引線鍵合和表面密封性,可以去除表面無(wú)機(jī)物,還原氧化層,增加銅表面粗糙度,提高產(chǎn)品可靠性可以顯著降低有機(jī)化學(xué)和耗材的消耗,保護(hù)生態(tài)環(huán)境,降低機(jī)械設(shè)備的生產(chǎn)成本。
芯片等離子清洗機(jī)的原理:表面活化增強(qiáng)附著力
等離子清洗機(jī)包括一個(gè)反應(yīng)腔室、電源和真空泵組。把芯片樣品放置反應(yīng)腔室內(nèi),真空泵開(kāi)始抽氣至一定的真空度,電源啟動(dòng)便產(chǎn)生等離子體,然后氣體通入到反應(yīng)腔室,使腔室中的等離子體變成反應(yīng)等離子體,這些等離子體與樣品表面發(fā)生反應(yīng),生產(chǎn)可揮發(fā)的副產(chǎn)物,并由真空泵抽出。利用等離子高能粒子與材料表面發(fā)生物理和化學(xué)反應(yīng),可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面進(jìn)行激活、蝕刻、除污等工藝處理,以及對(duì)材料的摩擦因數(shù)、粘合和親水等各種表面性能進(jìn)行改良的目的。等離子清洗機(jī)對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地處理,可實(shí)現(xiàn)整體和局部以及復(fù)雜結(jié)構(gòu)的清洗。
等離子清洗機(jī)應(yīng)用于芯片封裝材料清洗及活化解決產(chǎn)品的表面沾污、界面狀態(tài)不穩(wěn)定、燒結(jié)及鍵合不良等缺陷隱患,提升質(zhì)量管理和工序控制能力具有可操作性的積極作用,改善材料表面特性,提高封裝產(chǎn)品性能,等離子清洗機(jī)適用于生物醫(yī)療行業(yè),印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車(chē)電子行業(yè),航空工業(yè)等等眾多領(lǐng)域
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