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GSC-1000磁控濺射系統(tǒng)概述:帶有水冷或者加熱(高可加熱到700度)功能,大到6“旋轉(zhuǎn)平臺,大可支持到2個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵,極限真空可達(dá)1...
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