液相擴散技術（LDT）提供了各種 基材和表面材料的干燥性能性能增強。這種專有的干燥工藝及其它的系統(tǒng)控制生成超純IPA氣霧劑層，在靜止的基板移動擴散去除水分，不留水印。Megasonic IPA dryer具有強大的工藝靈活性，可用于干燥高縱橫比/深溝槽地形、半間距晶片間距，以及其他多種應用。

兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點，而且克服了它的不足。兆聲波清洗的機理是由高頻振效應并結合化學清洗劑的化學反應對硅片進行清洗的。在清洗時，由換能器發(fā)出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運動，大瞬時速度可達到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細小微粒被強制除去并進入到清洗液中。

Megasonic IPA Dryer 

清洗效果：