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澤攸ZEM20掃描顯微鏡:緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空

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參考價(jià) 600000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
600000
≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 品牌 ZEPTOOLS/澤攸科技
  • 型號(hào)
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 所在地 北京市
屬性

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更新時(shí)間:2025-10-23 15:34:45瀏覽次數(shù):43評(píng)價(jià)

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澤攸ZEM20掃描顯微鏡:緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空
臺(tái)式掃描電子顯微鏡的長(zhǎng)期性能穩(wěn)定,依賴(lài)于定期維護(hù)。ZEM20的維護(hù)重點(diǎn)集中在真空系統(tǒng)、探測(cè)器及環(huán)境控制

澤攸ZEM20掃描顯微鏡:緊湊結(jié)構(gòu)與高效真空

ZEM20 采用 6061?T6 鋁合金真空腔,表面經(jīng) 35?µm 硬質(zhì)陽(yáng)極氧化處理,放氣率僅 4.5?×?10???Pa·L·s?1·cm?2,能夠在 3?×?10???Pa 真空下穩(wěn)定工作。抽氣系統(tǒng)由 30?L/min 隔膜泵 + 70?L/s 渦輪分子泵組成,抽真空循環(huán)時(shí)間約 3?min。

  • 電子槍:CeB? 單晶燈絲,壽命約 1500?h,燈絲壽命監(jiān)控實(shí)時(shí)顯示。

  • 磁透鏡:三級(jí)磁透鏡(聚光、物鏡、掃描),采用 1J79 坡莫合金磁屏蔽筒(μr?>?40?000),像散校正通過(guò) 8?級(jí)掃描線圈實(shí)現(xiàn)。

  • 探測(cè)器:二次電子(SE)與背散射電子(BSE)雙通道,可同步顯示并拍攝混合圖像。

  • 樣品臺(tái):5?軸中心馬達(dá)驅(qū)動(dòng),X/Y 行程 ≥?110?mm,Z 行程 1.5–40?mm,旋轉(zhuǎn) 360°,傾斜 -5°~70°,配備自動(dòng)對(duì)中、自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)亮度對(duì)比度(ABCC)功能。

核心參數(shù)

項(xiàng)目規(guī)格
真空腔材質(zhì)6061?T6 鋁合金(硬質(zhì)陽(yáng)極氧化)
極限真空3?×?10???Pa
抽氣系統(tǒng)隔膜泵 30?L/min + 渦輪泵 70?L/s
電子槍CeB? 單晶燈絲
加速電壓0.5?–?30?kV(0.01?V 步進(jìn))
工作距離0.1?–?50?mm
探測(cè)器SE?+?BSE
樣品臺(tái)行程X/Y?≥?110?mm,Z?1.5?40?mm



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