RTF1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)

RTF1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)介紹：
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃  

(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶(hù)識(shí)別時(shí)要注意）、不會(huì)生銹，使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。  

(3)、Kanthal電阻絲資料下載  

(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站：www.kanthal.com  

(5)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好  

RTF1200轉(zhuǎn)動(dòng)式PECVD系統(tǒng)該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況，爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出，并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái)，隨時(shí)可以調(diào)出  

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。  

2、采用日本技術(shù)成型。  

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)  

4、采用4周加熱，溫場(chǎng)更加均衡  

1.為了增加抽氣速率，達(dá)到更高真空的要求?？蓪⒃熊浌芙宇^更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25）  

2.如用于供氣系統(tǒng)，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.  

3.轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)功率:40W  

4.電動(dòng)推桿功率:40W  

5.爐子傾斜角度:-10~30度  

6.爐管轉(zhuǎn)動(dòng)速率:采用無(wú)級(jí)變速電機(jī)轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min之間可調(diào)  

7.轉(zhuǎn)動(dòng)密封方式:采用轉(zhuǎn)動(dòng)磁流體密封  

8.四周表面溫度:≤45℃