OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)介紹：
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃  

(2)、表面為不銹鋼色（非常亮、客戶識別時要注意）、不會生銹，使用時間再長都不會掉渣。  

(3)、Kanthal電阻絲資料下載  

(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站：www.kanthal.com  

(5)、電阻均衡、溫場均衡性好  

OTL1200 單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)該爐配有通訊接口和軟件，可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù)，并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況，爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出，并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來，隨時可以調(diào)出  

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。  

2、采用日本技術(shù)成型。  

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本*的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場  

4、采用4周加熱，溫場更加均衡  

1.為了增加抽氣速率，達(dá)到更高真空的要求。可將原有軟管接頭更換成KF-25接口（VS-0.1和VS高真空系統(tǒng)接口皆為KF25）  

2.如用于供氣系統(tǒng)，可將原有軟管接頭更換成Φ6.35mm雙卡套接頭.  

3.轉(zhuǎn)動電機(jī)功率:40W  

4.電動推桿功率:40W  

5.爐子傾斜角度:-10~30度  

6.爐管轉(zhuǎn)動速率:采用無級變速電機(jī)轉(zhuǎn)速可在1-25轉(zhuǎn)/min之間可調(diào)  

7.轉(zhuǎn)動密封方式:采用轉(zhuǎn)動磁流體密封  

8.四周表面溫度:≤45℃