深圳市矢量科學儀器有限公司

臨時鍵合機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號XBS300

品牌SUSS

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地國外

更新時間：2024-09-06 11:08:34瀏覽次數(shù)：709次

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XBS300臨時膠合劑
適用于大批量生產(chǎn)的通用型臨時鍵合機
SUSS MicroTec的XBS300臨時鍵合平臺是新一代用于大批量生產(chǎn)的臨時鍵合機解決方案。200/300毫米晶圓鍵合平臺可以通過諸多工藝模塊的配置同時實現(xiàn)低擁有成本和工藝靈活性。

1. 產(chǎn)品概述

SUSS MicroTec的XBS300臨時鍵合平臺是新一代用于大批量生產(chǎn)的臨時鍵合機解決方案。200/300毫米晶圓鍵合平臺可以通過諸多工藝模塊的配置同時實現(xiàn)低擁有成本和工藝靈活性。

2. 設(shè)備用途/原理

XBS300支持臨時粘接的所有關(guān)鍵工藝步驟：分離層的形成、粘合劑的涂覆、低力度的晶圓粘接、紫外線固化或熱固化和冷卻。由于其靈活的配置，XBS300能夠處理所有商業(yè)上可用的臨時膠粘劑，適用于大批量生產(chǎn)的通用型臨時鍵合機。

3. 設(shè)備特點

與硅片或玻璃載片兼容；

針對相同或者不同尺寸的載片，采用切邊和中心對準；

結(jié)合GYRSET®技術(shù)，可獲得佳的涂膠均勻；

內(nèi)置無接觸，多點厚度的測量技術(shù)；

模塊化設(shè)計以實現(xiàn)可擴展的吞吐量和小化的占地面積；

支持各種粘合材料的開放平臺。

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