1. 產品概述
Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統，加熱分區(qū)設計，具備良好的溫度均勻性，高精度的控溫模式，更優(yōu)的升溫速率。
2. 設備用途/原理
Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統，加熱分區(qū)設計，具備良好的溫度均勻性，高精度的控溫模式，更優(yōu)的升溫速率。
3. 設備特點
晶圓尺寸 6/8 英寸兼容，適用工藝 快速熱退火。適用域 科研、化合物半導體。?碳化硅快速熱退火系統?是一種特殊的加熱設備，能夠在短時間內將碳化硅材料迅速加熱到高溫，并通過快速冷卻的方式使其達到非常高的溫度梯度。這種系統的主要應用領域包括CMOS器件后端制程、GaN薄膜制備、SiC材料晶體生長以及拋光后退火等。
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