深圳市矢量科學儀器有限公司

感應式碳化硅長晶爐

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號APS系列

品牌北方華創(chuàng)

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地北京市

更新時間:2024-09-05 10:30:49瀏覽次數(shù):304次

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APS系列 感應式碳化硅長晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

1. 產(chǎn)品概述

APS系列 感應式碳化硅長晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

2. 設備用途/原理

APS系列 感應式碳化硅長晶爐,適用于 6 英寸、8 英寸,導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。創(chuàng)新的結構設計,提供高純材料生長能力。智能的運行 / 監(jiān)控系統(tǒng),適于長時間 / 高溫 / 低壓工藝,拓寬高質(zhì)量 / 大規(guī)模晶體生長窗口包含多款輔助設備:大產(chǎn)能原料合成爐、晶錠退火爐、氮化鋁長晶爐及 其他定制化設備。

3. 設備特點

晶體尺寸 6、8 英寸,加熱方式 感應加熱,適用材料 碳化硅、氮化鋁,適用工藝 物理氣相輸運法(PVT 法),適用域 科研、化合物半導體。


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