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| 樣品臺尺寸 | 4英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸 | 樣品臺行程 | XY軸110mm，Z軸10mm，360°粗調，±5°精調 |
|---|---|---|---|
| 樣品臺位移精度 | 3μm | 背電極測試功能 | 可引背電極 |
| 樣品臺真空吸附 | 進口無油真空泵，7L/min | 樣品固定方式 | 環(huán)形真空吸附 |
| 樣品臺定制化 | 可定制（尺寸/材質/鍍金/背光） | 探針座行程 | XYZ三軸13mm |
| 探針座調節(jié)精度 | 3μm | 探針座固定方式 | 可調磁力吸附（可選配真空吸附，螺絲固定） |
| 接口形式 | 香蕉插頭、鱷魚夾、BNC、SMA、N同軸接口/三同軸接口 | 成像顯微鏡 | 雙目體式顯微鏡（可升級金相顯微鏡） |
| 放大倍數(shù) | ~200倍（最大可升級到~1000倍） | CCD | 2000W高清彩色相機 |
| 顯微鏡位移行程 | XY行程25mm*25mm，分辨率3μm | 探針座數(shù)量 | 標配 3 個 |
產品簡介
詳細介紹
探針臺又稱探針測試臺，主要用途是為半導體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺，探針臺可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個可調測試針以及探針座，配合測量儀器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對材料、芯片等進行科研實驗分析，抽查測試等用途。
TLRH系列精密型基礎測試探針臺是我司根據(jù)高?？蒲屑爱a業(yè)研發(fā)需要，而特定設計的一款高精密高穩(wěn)定探針臺，其較高的位移調節(jié)精度及優(yōu)異的漏電精度控制，已成為包括場效應管在內的多端器件IV測試的理想之選。
技術優(yōu)勢：
● 模塊化設計，可以搭配不同構件完成不同測試；
● 最大可用于12英寸以內樣品測試；
● 探針臺整體位移精度高達3μm，樣品臺精密四維調節(jié)；
● 兼容多種光學顯微鏡，可外引光路實現(xiàn)光電mapping測試；
● 滿足1μm以上電極/PAD使用；
● 漏電精度可達10pA/100fA（屏蔽箱內）；
● 探針座采用進口交叉滾珠導軌，線性移動，無回程差設計；
● 加寬探針放置架，可放置6個DC探針座/4個RF探針座；
● 配顯微鏡二維精密調節(jié)功能，且可選配多種行程及驅動方式。
細節(jié)展示：
詳細模塊配置及參數(shù)說明：
常規(guī)選型：
實驗附件及常規(guī)測試步驟：
光學隔振平臺(臺面>600mm*600mm)、一臺計算機(標準VGA接口和USB接口)、吉時利2400數(shù)字源表（含軟件）等。
測試時連接探針臺和數(shù)字源表，探針接被測物體，通過顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測物表面，待連接導通后打開源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點的I-V性能曲線。
應用領域：
半導體材料光電檢測功率器件測試MEMS測試PCB測試液晶面板測試測量表面電阻率測試精密儀器生產檢測航空航天實驗
譜量光電可根據(jù)客戶實際應用需求，定制配套探針臺系統(tǒng)，以達更好的測試效果及更高的性價比，具體信息可聯(lián)系詳詢。